四氯化硅處理成套系統(tǒng)
一、概述
四氯化硅處理成套系統(tǒng)，四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)是應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)線的尾氣回收裝置，利用本回收系統(tǒng)將廢氣回收成二氧化硅和鹽酸，本系統(tǒng)已獲，經(jīng)投放，取得了好的效益。
生產(chǎn)多晶硅是一個(gè)提純過(guò)程，主要原料是三氯氫硅，再用氫氣進(jìn)行一次性還原，這個(gè)過(guò)程中約有25的三氯氫硅轉(zhuǎn)化為多晶硅，其余大量進(jìn)入尾氣，同時(shí)形成副——四氯化硅。四氯化硅是危，遇空氣遇水會(huì)產(chǎn)生對(duì)體有害的氣體。在這個(gè)過(guò)程中，如果回收工藝不成熟，三氯氫硅、四氯化硅、等有害物質(zhì)有可能外溢，存在的安全和污染隱患。而且多晶硅與四氯化硅的生成比例為1：15，即生產(chǎn)一噸多晶硅，就需要處理15噸的四氯化硅，處理量非常大。目前內(nèi)處理多晶硅在上已經(jīng)開創(chuàng)出了兩個(gè)方式，一是將四氯化硅熱氫化后再生成生產(chǎn)多晶硅的原料，可以回收利用一部分四氯化硅，但不能回收，還是會(huì)產(chǎn)生污染。二種方法就是通過(guò)化工工藝將四氯化硅轉(zhuǎn)化成附加值的化工，即無(wú)害的二氧化硅，我公司經(jīng)過(guò)幾年的與應(yīng)用，地將本應(yīng)用于本中，將尾氣“變廢為寶”。
二、，四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)工作原理
（1）、四氯化硅提純：
因四氯化硅中含有一些雜質(zhì)，為了得到的二氧化硅和鹽酸，將四氯化硅在蒸發(fā)器中蒸發(fā)，再經(jīng)精餾塔提純，使其得到純度非常的四氯化硅氣體。
（2）、四氯化硅水解：
純的四氯化硅氣體進(jìn)入到水解塔內(nèi)，同時(shí)循液通過(guò)泵的作用使循液均勻分布到各個(gè)霧化器當(dāng)中，通過(guò)霧化器向下噴淋。與進(jìn)入水解塔內(nèi)的四氯化硅發(fā)生反應(yīng)，形成硅酸及氣體。
（3）、二氧化硅的形成：
硅酸進(jìn)入壓濾系統(tǒng)進(jìn)行壓濾成為濾餅，再進(jìn)入干燥機(jī)干燥后形成純度為99.85的二氧化硅。
（4）、回收鹽酸：
氣體進(jìn)入降膜回收裝置，氣體與水反應(yīng)生成鹽酸。同時(shí)冷卻水進(jìn)入本裝置內(nèi)對(duì)進(jìn)行冷卻，以增加的回收效率。
沒(méi)有反應(yīng)完的氣體再進(jìn)入下一級(jí)吸收塔內(nèi)，再進(jìn)行一次鹽酸的回收，zui后氣體達(dá)標(biāo)。
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