NanoFocus激光共聚焦顯微鏡是一個(gè)表面的精密三維測(cè)量分析集于一體的。 µsurf explorer適用于計(jì)量測(cè)試實(shí)驗(yàn)室以及在生產(chǎn)環(huán)境中使用由于它的堅(jiān)固性。用共聚焦顯微鏡 µsurf explorer測(cè)量快速、簡(jiǎn)單的幾步的功能。靈活和用戶友好的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)已成功地應(yīng)用于許多公司和行業(yè)的粗糙度測(cè)量，根據(jù)ISO，測(cè)量地形，微觀幾何形狀，層厚度或其他參數(shù)。 µsurf explorer是在汽車行業(yè)，成功部署的醫(yī)療技術(shù)、微電子技術(shù)、造紙和印刷業(yè)、鋼鐵業(yè)、光學(xué)生產(chǎn)。

NanoFocus激光共聚焦顯微鏡產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測(cè)量，也可以用共聚焦顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更精確量測(cè)物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。 

以的快速和三維大面積掃描區(qū)分其本身，具有高的動(dòng)態(tài)和測(cè)量精度。剖面數(shù)據(jù)可以精確地獲得幾乎所有的表面，獨(dú)立于不同的反射特性或斜率。µscan select+測(cè)量范圍從毫米到微米范圍內(nèi)。非常快的測(cè)量速度允許高吞吐率。三維直線傳感器適用于在各種工業(yè)領(lǐng)域和研究范圍從汽車、微系統(tǒng)中的應(yīng)用，電子和半導(dǎo)體醫(yī)療技術(shù)和其他。