產(chǎn)品簡(jiǎn)介：用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作及清理方便的優(yōu)點(diǎn),是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料粉末的理想設(shè)備。
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-450-PLD（Pulsed Laser Deposition） | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)，水溫小于25℃，水壓0.25-0.4Mpa，流量高于12 l/min（加注純凈水或者去離子水）； 2、電：AC380V 50Hz，功率大于10KW，波動(dòng)范圍：小于±6％，必須有良好接地（對(duì)地電阻小于2Ω）； 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氮/氬氣（純度99.99%以上），需自備氮/氬氣氣瓶（自帶Ø10mm雙卡套接頭）及減壓閥 4、場(chǎng)地面積：設(shè)備尺寸2000mm×2000mm，承重1000kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要（外排廢氣管道）。 | ||
主要特點(diǎn) | 1、由于激光光子能量很高，可濺射制備很多困難的鍍層：如高溫超導(dǎo)薄膜，陶瓷氧化物、氮化物薄膜，多層金屬薄膜等； 2、體積小，操作簡(jiǎn)便可以非常容易的連續(xù)融化多個(gè)材料，實(shí)現(xiàn)多層膜制備； 3、可以通過控制激光能量和脈沖數(shù)，精密的控制膜厚； 4、易獲得期望化學(xué)計(jì)量比的多組分薄膜，即具有良好的保成分性； 5、沉積速率高，試驗(yàn)周期短，襯底溫度要求低，制備的薄膜均勻； 6、工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié)，對(duì)靶材的種類沒有限制。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、極限真空度：≤6.67x10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)； 2、系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S； 3、系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂螅匍_始抽氣，20分鐘可達(dá)到5x10-3 Pa。 | ||
基片參數(shù) | 1、基片尺寸：可放置φ2″基片（帶擋板）； 2、基片加溫度 800℃±1℃，由熱電偶閉環(huán)反饋控制，采用抗氧化材料作加熱器； 3、基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5～60轉(zhuǎn)/分，電機(jī)驅(qū)動(dòng)磁耦合機(jī)構(gòu)控制； 4、基片與靶臺(tái)之間距離30～90mm可調(diào)。 | ||
轉(zhuǎn)靶參數(shù) | 1、每次可以裝四塊靶材，靶材尺寸：φ1″或φ2″； | ||
真空腔體 | 1、球型真空室尺寸Ф450mm，選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進(jìn)行特殊工藝拋光處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封； 2、真空腔體帶RF150活開門，方便取、放樣品； 3、RF100法蘭2套（1套紫外石英玻璃窗口用于激光器，另1套盲板紅外石英玻璃窗口用于測(cè)溫可選配）； 4、RF100光學(xué)玻璃窗口1套（用于觀察）。 | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 整機(jī)尺寸：1800mm×1000mm×1600mm | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 電源控制系統(tǒng) | 1套 |
2 | 真空獲得機(jī)組 | 1套 | |
3 | 真空測(cè)量 | 1套 | |
