日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器UCF系列
日本pureron內置式陶瓷氣體過濾器UCF系列
低壓力損失內置式陶瓷氣體過濾器 UCF系列
- 低壓力損失
氮氣以10?/min速度通過過濾器，輸入側壓力0.1MPa，輸出側壓力損失⊿P僅僅為極低的0.01MPa。 - 高過濾精度
0.01μm微粒子去除性能達到99.9999999999％。為超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。
| 過濾精度 | 0.01μm | |
|---|---|---|
| 推薦流量 | 10～160?/min（各型號區(qū)別：參考流量特性曲線) | |
| 設計壓力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本產品全部經過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是，依據日本國內的高壓氣體保安法，使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關于1MPa以上的高壓煤氣認定品，請詢問我們。 |
| 常用壓力 | 1MPa(145PSIG)未滿 | |
| 容許差壓 | 3MPa (435PSIG) at20℃ | |
| 連續(xù)使用溫度 | 120℃ | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 | |
| 構成材料 | 外罩：SUS316L 內表面粗糙度：Rmax×0.7μm以下 元素：氧化鋁陶瓷(Al2O3) 密封圈：PTFE | |
| 連接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它 | |
陶瓷氣體過濾器
具備高過濾精度和高耐腐蝕性等特性的陶瓷過濾器，高水平的去除氣體管道內的粒子，同時實現高選擇性。（可以滿足200℃の高溫烘干、H20濃度消減到5ppb以下）
- PGF系列： 蜂窩狀構造部件 過濾精度0.003μm 推薦流量10～200L/min
- PGFL系列： 蜂窩狀構造部件 過濾精度0.003μm 推薦流量20～400L/min
- UCF系列： 管狀部件 過濾精度0.01μm 推薦流量10～160L/min
- SPC系列： 管狀部件 過濾精度0.003μm 推薦流量10L/min
- UCH系列： 過濾精度0.003μ 推薦流量40～200L/min
