產(chǎn)品介紹
YAMATO等離子灰化機(jī)，PR500：手動(dòng)控制 PR510：自動(dòng)觸摸屏控制（PR500/510）
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途：
- 去除光刻膠
- 部品清洗
- 界面活性處理
- 微研磨
- 硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)
特征：
- 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
- 小型一體化設(shè)計(jì)
操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型）
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式，桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調(diào)方式 | 自動(dòng)協(xié)調(diào) | ||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（O2／CF4） | ||
控制 | 手動(dòng) | 觸摸屏自動(dòng)控制 | |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書(shū) | |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書(shū) | |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
PR200/300/301，從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)。
用途：
- YAMATO等離子灰化機(jī)高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通過(guò)氧化反應(yīng)，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）。同樣在氮?dú)獾入x子體中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH 2等官能基。
- 硅晶圓蝕刻。
- 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
- 石棉預(yù)處理（膜過(guò)濾灰化）。
- 從電子設(shè)備到生化市場(chǎng)。
- 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
- 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
- 表面有機(jī)物去除。
特點(diǎn)：
- RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
- 由于是尺寸緊湊的臺(tái)式機(jī)，很小的位置都可以安裝。
- 同步，自動(dòng)調(diào)諧，操作簡(jiǎn)單（PR200）。
- 等離子體反應(yīng)器（灰化設(shè)備）（PR200）。
- 同步、自動(dòng)調(diào)諧（PR200）。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | PR200 | PR300 | PR301 | |
模式 | DP模式，桶型 | |||
控制部 | 高頻輸出 | Max300W | ||
頻率 | 13.56MHz | |||
同調(diào)方式 | 手動(dòng)2軸同調(diào)方式 | |||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 耐熱玻璃 Φ100×160mm | 超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐熱玻璃 Φ118×160mm |
反應(yīng)氣體 | 1系統(tǒng)（氧氣）流量計(jì) | |||
控制 | 手動(dòng)密閉閥 | 自動(dòng)減壓、自動(dòng)密閉閥 | ||
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W350×D400×H500mm | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
重量 | 約10kg | 約36kg | 約34kg | |
電源 | AC100V 15A | AC100V 7A | ||
