日本shibaura皮拉尼壓力真空計 GPW 系列
本產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計，能夠測量從大氣壓到 5 × 10 -2 Pa 的寬范圍。
此外，該真空計從傳統(tǒng)控制器中去除了操作/顯示單元，并將其縮小到低限度的必要功能，從而實現(xiàn)了“降低成本”和“節(jié)省空間”。
GPW系列的特點
廣域測量：可進行從大氣壓到 5 × 10 -2 Pa 的廣域測量
省配線：通過集成傳感器和控制器，實現(xiàn)省配線、省空間和省電。
提高可視性：配備可檢查異常情況的 LED
可一鍵調(diào)節(jié)：可一鍵調(diào)節(jié)大氣壓、調(diào)零點
可維護性：輕松更換觸控筆
燈絲材料-鉑（Pt）：燈絲材料采用耐腐蝕性好的鉑金。
測量值輸出信號：0～10V壓力對數(shù)輸出標準設(shè)備
提高抗沖擊性：具有優(yōu)異抗沖擊性的設(shè)計結(jié)構(gòu)
控制輸出信號：可輸出2個設(shè)定點（GPW-1）
串行通信規(guī)格：可進行 RS-232C/RS-485 通信（僅限 GPW-2）
符合標準：符合CE標準
日本shibaura皮拉尼壓力真空計 GPW 系列
利用
用于太陽能電池、FPD、半導體、電子元件等各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制
用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制
規(guī)格
| 模型 | 總規(guī)劃一一 | 工作總計劃-2 | |
|---|---|---|---|
| 可連接觸控筆 | 一 | ||
| 自適應觸控筆 | SWP-16 (NW-16) | ||
| 測量壓力范圍 | 5.0 x 10 -2至 1.0 x 10 5 Pa | ||
| 測量精度 * | 1×10 -1～1××10 4 Pa：±10% 5.0×10 -2～1.0×10 -1 Pa、1×10 4 Pa～1×10 5 Pa：±20% | ||
| 重復性 | 1×10 -1 Pa～1×10 4 Pa：±2% | ||
| 采樣時間 | 50 毫秒 5 個移動平均線 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10 V | ||
| 壓力指示（日志輸出） 1.7 V 至 8.0 V，1 V/位 | |||
| 更新時間 | 50 毫秒 | ||
| 控制輸入信號 | 集電極開路輸入，負邏輯 ADJ調(diào)節(jié)（零點調(diào)節(jié)，大氣壓調(diào)節(jié)） | ―――― | |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出 負邏輯 [額定值：30 VMAX、50 mAMAX、70 mW] 錯誤信號 設(shè)定點 1、2 | ―――― | |
| 監(jiān)控設(shè)定點 | 設(shè)定點 1、2：0 ~ 10 V 日志輸出 | ―――― | |
| 串行通信規(guī)格 | ―――― | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | POWER / ERROR：電源、錯誤指示燈 | ||
| SET-1：設(shè)定點 1 LED SET-2：設(shè)定點 2 LED | ―――― | ||
| 燈絲材料 | 鉑 | ||
| 工作溫度限制 | 10-40℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80%（但無冷凝） | ||
| 知識產(chǎn)權(quán)保護等級 | IP30（傳感器單元） | ||
| 安裝姿勢 | 沒有限制 | ||
| 電源電壓 | DC 18 V 至 30 V，2 W（打開電源時為 4.8 W） | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15-Pin（M2.6 螺絲） | ||
| 大量的 | 150 克（帶 SWP-16） | ||
| 外形尺寸（電源） W x D x H (mm) | 70×46×28 | ||
| 符合標準 | 行政長官 | ||
* 氣壓調(diào)整和零點調(diào)整后的精度。
