概要
實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體連續(xù)監(jiān)測(cè)，主要應(yīng)用于空分和半導(dǎo)體行業(yè)。
實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體中的痕量雜質(zhì)氣體 (CO, CO2 和 CH4) 的超高感度連續(xù)測(cè)量。
特征
超高感度分析
- 采用交替流動(dòng)調(diào)制方式的非分光紅外吸收原理可以實(shí)現(xiàn)無(wú)零點(diǎn)漂移的長(zhǎng)期安定的連續(xù)測(cè)量。
- 最小檢出限可達(dá)10ppb，尤其適合追求高精度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量。
- 使高純氣體中的痕量氣體檢測(cè)成為可能。典型平衡氣氣體N2，O2，He，Ar，H2和空氣。
操作簡(jiǎn)單，無(wú)需維護(hù)
- 使用時(shí)無(wú)需任何特使操作，校正和測(cè)量等全部操作均可在顯示畫(huà)面上進(jìn)行。
- 采用HORIBA的技術(shù)-交替流動(dòng)調(diào)制方式，無(wú)需光學(xué)調(diào)整，無(wú)需維護(hù)。
- 彩色液晶顯示屏，觸摸操作可以顯示彩色趨勢(shì)圖，有更好的可視性 。
典型應(yīng)用
一般情況下，作為工業(yè)用氣體使用的氧氣，氮?dú)馐峭ㄟ^(guò)空氣分離來(lái)制造的。
首先將除去水分和CO2的原料空氣通入分離裝置，分離裝置時(shí)利用氮?dú)狻鍤夂脱鯕馊邭怏w的沸點(diǎn)不同進(jìn)行分離出不同氣體。
氫氣和氦氣也是利用類(lèi)似的氣體分離裝置制備。
GA-370測(cè)量實(shí)例。高純度氮?dú)?、氬氣、氧氣制造行業(yè)痕量氣體的測(cè)定。
除去水分、CO2后原料氣體中痕量氣體的測(cè)量。
測(cè)量原理
交替流動(dòng)調(diào)制方式雙光路非分光紅外吸收原理
GA-370用一束紅外光透過(guò)檢測(cè)室射入檢測(cè)器，測(cè)量過(guò)程中通過(guò)切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測(cè)室。
測(cè)量樣氣和參比氣體使用相同的氣體（例如零點(diǎn)氣體）時(shí)，無(wú)法產(chǎn)生調(diào)制信號(hào)，因此不會(huì)產(chǎn)生漂移，解決了 痕量氣體分析中的零點(diǎn)漂移宜問(wèn)題。
而且使用雙光路檢測(cè)氣室，以相反的相位導(dǎo)入測(cè)量樣氣和參比氣體，可實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期安定穩(wěn)定運(yùn)行，無(wú)需光學(xué)調(diào)整。
氣體流程圖
規(guī)格
型號(hào) | GA-370 |
可測(cè)量的氣體種類(lèi) | CO, CO2, 和CH4 |
高純氣體種類(lèi) | N2, O2, He, Ar, H2, 空氣 |
測(cè)量組分?jǐn)?shù)目 | 1 組分或 2 組分 |
測(cè)量原理 | 交替流動(dòng)調(diào)制方式 |
量程 | 0 to 1/2/5/10 ppm |
檢出限 (2σ) | 10 ppb |
重復(fù)性 | ≤ ± 2% F.S. |
直線性 | ≤ ± 2% F.S. |
零點(diǎn)量程 | ≤±0.02ppm/天，≤±0.03ppm/周 |
量程漂移 | ≤±2% F. S./天 ，≤±3%F .S./周 |
響應(yīng)時(shí)間(T90) | ≤ 180s |
流量 * | 測(cè)量氧氣：約 3.5 L/min；參比氣體：約 3.5 L/min |
模擬輸出 | 最多可選兩路絕緣輸出 (2 組分)； |
安裝環(huán)境 | 環(huán)境溫度0- 40°C |
環(huán)境濕度 | ≤85% |
顆粒物 | 低于環(huán)境空氣基準(zhǔn) |
震動(dòng) | 0.29 m/s2，頻率≤100 Hz |
外形尺寸和重量 | 430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分）；約18 kg |
電源 | 100 - 240 V AC,≤ ±10% （電壓 ：25 0V ) |
功率 | 約100 VA |
* 注 1) 參比氣體和量程氣由用戶提供，氣瓶的精度需滿足測(cè)試要求。
* 注 2) GA-370 痕量氣體分析儀在特殊場(chǎng)合下并不安全。例如，在含H2的環(huán)境中使用時(shí)需配合防爆小屋以避免爆炸。
樣本
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GA-370痕量氣體分析儀
