基于25年經(jīng)驗(yàn)，UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制，可用于各種樣品的精確測量，的FastAcqTM快速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的2倍，從而能獲得界面薄膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息?？稍?分鐘以內(nèi)實(shí)現(xiàn)高分辨的樣品測試（190-2100nm），校準(zhǔn)僅需幾分鐘。模塊化設(shè)計(jì)，可靈敏拓展，具有更好的可升級性能。UVISEL Plus是一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型。
主要特點(diǎn)
* 50kHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù)，測量光路中無運(yùn)動(dòng)部件
* 具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率
* 具有毫秒級超快動(dòng)態(tài)采集模式，可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測
* 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件
* 配置靈活
規(guī)格參數(shù)
| 調(diào)制方式 | 相位調(diào)制+斬波器 雙調(diào)制 |
| 調(diào)制頻率 | 50kHz |
| 光譜范圍 | 190-920nm（可擴(kuò)展到2100nm） * UVISEL NIR (250 nm -2100 nm ) * UVISEL VIS (210 nm -880 nm ) * UVISEL FUV(190 nm -880 nm ) * UVISEL VUV(142 nm -880 nm ) |
| 光譜分辨率 | <> |
| 雜散光抑制率 | <> |
| 色散公式 | ≥ 31個(gè) |
| 材料模型庫 | ≥ 300個(gè) |
| 微光斑類型 | 反射式，全光譜消色差 |
| 微光斑可選 | 50μm，100μm，1mm（90度） |
| 探測器 | 分別針對紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器 |
| 樣品臺(tái) | 手動(dòng)/自動(dòng)，支持12英寸晶圓（可選） |
| 自動(dòng)量角器 | 變角范圍35° - 90°，全自動(dòng)調(diào)整，最小步長0.01° |
