產(chǎn)品簡介
SE300橢偏儀是一種利用光的偏振態(tài)變化來進(jìn)行薄膜性質(zhì)表征的儀器，主要用來測量薄膜材料的厚度、NK參數(shù)等性質(zhì)。橢偏儀的主要原理是將自然光（紫外光、可見光以及紅外光）變成偏振光后通過一定角度入射到樣品上，偏振光進(jìn)入樣品介質(zhì)后會反射回到橢偏儀檢偏器內(nèi)，由于樣品介質(zhì)會對偏振光的偏振態(tài)發(fā)生改變，而這種改變會被橢偏儀測量，橢偏儀就是利用這個(gè)介質(zhì)對偏振光性質(zhì)改變的原理來表征介質(zhì)的性質(zhì)的。
SE300型號實(shí)現(xiàn)400nm到1000 nm超長波段的探測，可實(shí)現(xiàn)對材料紫外、可見和紅外波段的全覆蓋測量研究，同時(shí)可搭配自動平臺掃描、自動變角、微光斑探測以及平臺加熱等功能滿足不同應(yīng)用需求。
設(shè)備配置
探測器：陣列探測器
光源：高功率的DUV-Vis-NIR復(fù)合光源
測量角度變化：手動調(diào)節(jié)
軟件：TFProbe 3.2版本的軟件
計(jì)算機(jī)：Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
電源：110–240V AC/50-60Hz，6A
保修：一年的整機(jī)及零備件保修
規(guī)格參數(shù)
波長范圍：400nm到1000 nm
波長分辨率: 1nm
光斑尺寸：1mm至5mm可變
入射角范圍：0到90度
入射角變化分辨率：5度間隔
樣品尺寸：zui大直徑為200mm或者150mm邊長方形
基板尺寸：zui多可至20毫米厚
測量厚度范圍*：5nm〜10μm
測量時(shí)間：約1/位置點(diǎn)
精度*：優(yōu)于0.25％
重復(fù)性誤差*：小于1 Ǻ
產(chǎn)品選型
用于反射的光度測量或透射測量；
用于測量小區(qū)域的微小光斑；
用于改變?nèi)肷浣嵌鹊淖詣恿拷瞧鳎?br>
X－Y成像平臺(X-Y模式，取代ρ-θ模式)；
加熱/致冷平臺；
樣品垂直安裝角度計(jì)；
波長可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或IR范圍；
掃描單色儀的配置；
聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能，可用于對樣品的圖像進(jìn)行測量等。
產(chǎn)品相冊
