熱式氣體質(zhì)量流量控制閥：組態(tài)靈活，功能強(qiáng)大，性能價(jià)格比高，是新一代流量儀表。裝置在工作時對儀器的啟動壓力有一定要求，根據(jù)流量大小來選擇，如果是流量量程較小的話需要啟動壓力為1-3公斤；大流量的時候需要3-5公斤壓力，松盛測控的流量儀表壓差可根據(jù)用戶實(shí)際使用壓力進(jìn)行選擇，可達(dá)幾十公斤。

   熱式氣體質(zhì)量流量控制閥：熱式質(zhì)量流量計(jì)，對氣體流量測量無需溫度和壓力補(bǔ)償，測量方便，可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。該產(chǎn)品采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)，將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)過放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進(jìn)行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，這樣便實(shí)現(xiàn)了MFC的功能。