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廣電計量檢測集團股份有限公司

SAMCO二手ICP刻蝕機RIE-230iP現(xiàn)貨供應

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/6/13 19:20:45
  • 訪問次數(shù)264
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青島佳鼎實驗室,坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
十年的時間里,公司因擴展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團隊,也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅實的基礎(chǔ),使我們在未來的發(fā)展中,有底氣的大踏步前進。目前,佳鼎實驗室已經(jīng)形成了一站式服務,不僅有實驗室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售,更有實驗室的整體交付。做到了初時毛坯,再見時嚴謹整潔,隨時可以為人類健康貢獻自己的力量。
產(chǎn)品服務于各行各業(yè),從科研機構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國實驗室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實驗室堅信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營理念,為打造實驗室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

SAMCOICP刻蝕機RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式,高速進行各種材料的超精細加工的負載鎖定型ICP蝕刻系統(tǒng)
SAMCO二手ICP刻蝕機RIE-230iP現(xiàn)貨供應 產(chǎn)品信息

SAMCO ICP刻蝕機RIE-230iP是以電感耦合等離子體為放電方式,高速進行各種材料的超精細加工的負載鎖定型ICP蝕刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過采用的龍卷風式線圈電極,高效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體,可對硅及各種金屬薄膜和化合物半導體進行高精度的各向異性蝕刻。此外,?230mm的托盤可同時處理多種化合物半導體。

主要特點和優(yōu)點

龍卷風線圈電極

它能有效地產(chǎn)生穩(wěn)定的高密度等離子體,使蝕刻具有高選擇性、高精度和良好的均勻性。

低損傷工藝

通過ICP產(chǎn)生高密度的等離子體,實現(xiàn)了低偏置、低損傷的工藝。

溫度控制

電調(diào)和He冷卻的平臺和反應室內(nèi)側(cè)壁的溫度控制使蝕刻在穩(wěn)定的條件下進行。

應用

GaN、GaAs、InP等化合物半導體的高精度加工。鐵電材料、電極材料等難蝕材料的加工。

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關(guān)鍵詞:刻蝕機
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