產品介紹：KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生長爐由KJ-1200T管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，溫度可以達到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細介紹

產品介紹：

KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生長爐由KJ-1200T管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，溫度可以達到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調節(jié)可以是質子流量計或浮子流量計，混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

KJ-1200T管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結構和宇電控溫儀表，能進行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點。

軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數據保存起來，隨時可以調出。

應用范圍：

KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生長爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是專門為在金屬箔（像銅箔、鋁箔等）上生長薄膜而設計；廣泛應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究上，特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。

規(guī)格參數：

產品名稱	1200℃石墨烯生長爐
產品型號	KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S
管式爐
加熱區(qū)長度	440mm
恒溫區(qū)長度	150 (+/-1 ℃)
工作溫度	1100℃（此溫度為長期加熱溫度）
溫度	1200℃
爐管尺寸	Φ60×1440mm
等離子射頻電源
輸出功率	5 ～500W ± 1% .
射頻頻率	13.56 MHz ±0.005% .
反射功率	約200W
阻抗匹配	自動
真空泵機組（雙極旋片泵）
真空度	10-3torr
波紋管	KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連.
質量流量計
四通道控制	精度0.02% 、數字顯示、自動控制、一個混氣罐、底部裝有泄廢液口
MFC 1范圍	0~100 sccm
MFC 2和3	0~500 sccm
進氣接口	1/4NPS
出氣接口	1/4NPS
水冷系統(tǒng)
水冷法蘭要求	水流量 >= 10L/M ，配有專業(yè)水冷機組

標準配件：

等離子射頻電源1臺、質子混氣系統(tǒng)1臺、雙旋機械泵1臺、水冷系統(tǒng)1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、剛玉爐塞2對、高溫手套1副、剛玉坩堝2個、說明書1份

注：坩堝可按用戶需求選配合適的款型

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