東莞市雅之雷德機(jī)電科技有限公司

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技術(shù)文章

離子注入機(jī)可維修進(jìn)口真空泵的哪些故障

閱讀：1007發(fā)布時(shí)間：2016-10-31

鑒于很多人還不太了解離子注入機(jī)是否可以進(jìn)行進(jìn)口真空泵維修的輔助工作，雅之雷德在這里給大家講解一下，以及它的操作方法。

我們今天討論的是離子注入機(jī)可維修進(jìn)口真空泵的哪些故障。

1.修復(fù)真空系統(tǒng)的方法及步驟

針對(duì)這臺(tái)離子注入機(jī)的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)是高真空和高電壓(關(guān)于高壓修復(fù)略)這兩個(gè)難題，采用下列技術(shù)措施。

(1)把整個(gè)設(shè)備化整為零分段檢修

這臺(tái)離子注入機(jī)各種粗細(xì)真空管道有4米多長(zhǎng)，大小法蘭、接頭、觀察窗有60多個(gè)，我們先把全機(jī)拆開(kāi)成許多小單元，并用航汽油清洗、烘干，等待裝配。

(2)進(jìn)口真空泵、擴(kuò)散泵真空極限的確定

在測(cè)定真空極限參數(shù)以前，應(yīng)制作一個(gè)多用圓蓋板，圓蓋板上有兩個(gè)能固定熱孤電離規(guī)的接頭。經(jīng)檢修后的擴(kuò)散泵應(yīng)使用圓蓋板堵住并監(jiān)測(cè)真空極限值。經(jīng)一周的反復(fù)試驗(yàn)后分別得到了1×10-3和5×10-7托的真空值。極限參數(shù)確定后，可逐段聯(lián)接系統(tǒng)。

(3)擴(kuò)散泵進(jìn)氣口至三通之間的密封

把擴(kuò)散泵裝在主機(jī)架上并與三通相接，關(guān)閉三通前Φ60閥，三通的另一端用多用圓蓋板堵住。經(jīng)修復(fù)后測(cè)得真空值為1×10-6托。

(4)三通至加速聚焦器之間的密封

把三通與加速聚焦瓷套相接，并用多用圓蓋板把瓷套一端堵住。經(jīng)檢漏后測(cè)得真空值為4×10-6托。

(5)加速瓷套與掃描器、靶室之間的密封

把加速瓷套與掃描器、靶室相接，并用圓蓋板取代靶室的靶蓋。經(jīng)檢漏后測(cè)得真空值為3×10-5托。在這一環(huán)節(jié)中，重點(diǎn)應(yīng)解決小電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的動(dòng)密封和多接頭、多觀察窗的密封間題。在后級(jí)真空問(wèn)題基本被解決之后，則應(yīng)向前級(jí)擴(kuò)展，一直擴(kuò)展到離子源前的位置處。

(6)獲得系統(tǒng)真空極限的方法

在逐段安裝檢漏全機(jī)以后，系統(tǒng)的zui高真空值還需進(jìn)一步獲得。其方法是:每天連續(xù)抽8~12小時(shí)，約3~5天后得到了2.2×10-6托的真空值。這樣，就確定了系統(tǒng)的真空極限，也滿(mǎn)足了工藝技術(shù)中的要求。

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