硅片檢測顯微鏡

高精度粗微動調(diào)焦機構(gòu)

采用底手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu)，左右側(cè)均可調(diào)節(jié)，微調(diào)精度高，手動調(diào)節(jié)簡單方便，用戶能夠輕松得到清晰舒適的圖像。粗調(diào)行程為38mm，微調(diào)精度0.002。

大尺寸機械移動平臺

采用180×155mm的大尺寸平臺，右手位設(shè)置，符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過程中，便于調(diào)焦機構(gòu)與平臺移動的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環(huán)境。

落射柯拉照明系統(tǒng)

采用180×155mm的大尺寸平臺，右手位設(shè)置，符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶操作過程中，便于調(diào)焦機構(gòu)與平臺移動的操作切換，為用戶提供更加高效的工作環(huán)境。

硅片檢測顯微鏡參數(shù)

光學(xué)系統(tǒng)

有限遠色差光學(xué)系統(tǒng)

觀察筒

45°傾斜，三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍:54-75mm，分光比：80:20

目鏡

高眼點大視野平場目鏡PL10X/18mm，可帶測微尺

高眼點大視野目鏡WF15X/13mm，可帶測微尺

高眼點大視野目鏡WF20X/10mm，可帶測微尺

物鏡

長工作距平場消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）

轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器

調(diào)焦機構(gòu)

低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu)，粗動每轉(zhuǎn)行程38 mm；微調(diào)精度0.02mm

載物臺

三層機械移動平臺，面積180mmX155mm，右手低手位控制，行程：75mm×40mm

落射照明系統(tǒng)

落射式柯拉照明系統(tǒng)，帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場光欄，自適應(yīng)寬電壓100V-240V，單顆5W 暖色LED燈，光強連續(xù)可調(diào)

落射式柯拉照明系統(tǒng)，帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場光欄，自適應(yīng)寬電壓100V-240V，6V30W鹵素燈，光強連續(xù)可調(diào)

攝影攝像

0.5X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；濾色片組；高精度測微尺