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更新時間：2024-05-03 08:59:09瀏覽次數(shù)：127次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品介紹35年來，我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開發(fā)現(xiàn)場監(jiān)測和控制儀器
35年來，我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開發(fā)現(xiàn)場監(jiān)測和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺系統(tǒng)，專門設(shè)計用于在負(fù)載鎖定真空蝕刻和沉積室內(nèi)觀察圖案化晶圓，以檢查是否已加載正確的晶圓，并確認(rèn)相對于掩模圖案的對齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場，但通常在5mm的工作距離（適用于ICP蝕刻和沉積室）和600mm視場下可以獲得7μm的分辨率。
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