優(yōu)爾鴻信尺寸檢測實驗室擁有一大批高精度尺寸量測掃描設備及量測工程師，如三坐標測量機、自主研發(fā)的影響掃系統(tǒng)、ATOS掃描設備、3D干涉儀、探針掃描儀等，可為客戶提供專業(yè)的尺寸量測、量測程序開發(fā)、量測系統(tǒng)能力評估、3D掃描、逆向工程及微觀表面測量等服務。

3D白光干涉儀主要基于光學干涉技術，通過測量光波在樣品表面和參考鏡表面反射后的光程差，來解析出樣品表面的三維形貌信息。可以實現(xiàn)對納米級尺寸的精確測量。

白光干涉儀的特點：

高精度測量：白光干涉儀利用白光作為光源，通過光譜分析技術可以實現(xiàn)對納米級高度變化的精確測量。

非接觸式測量：由于測量過程中無需接觸樣品表面，因此不會對樣品造成任何損傷，特別適用于對精密器件和易損材料的測量。

快速成像與分析：現(xiàn)代白光干涉儀通常配備有高速CCD相機和先進的圖像處理算法，能夠在幾秒鐘內(nèi)完成成像并自動分析結果，大大提高了測試效率。

白干涉儀的性能：

光學干涉原理,垂直分辯率高達0.1nm

量測精度: 1%

重復性精度:

RMS重復性(EX Mode): 1nm

RMS重復性(Phase Mode): 0.05nm

垂直掃描范圍: 1nm～5mm

掃描方式:垂直掃描干涉(VSI)和相移干涉(PSI)

白光干涉儀的主要功能：

非接觸式2D&3D粗糙度檢測

微觀尺寸量測及產(chǎn)品失效分析

3D表面形貌掃描分析

透明&半透明膜厚測試