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多晶硅超純水設(shè)備的應(yīng)用

閱讀：36發(fā)布時(shí)間：2024-8-13

　　很多的多晶硅上面審查需要對(duì)超純水系統(tǒng)進(jìn)行很多方面不了解這個(gè)問(wèn)題，接下來(lái)艾柯純水處理設(shè)備生產(chǎn)廠家?guī)Т蠹伊私庖幌逻@個(gè)問(wèn)題。
 
　　在多晶硅超純水設(shè)備中主要是用于多晶硅片的清洗清理，多晶硅片以及半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)都需要用到須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等，引起嚴(yán)重漏電,顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等，會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。
純化水設(shè)備
 
　　超純水設(shè)備是指采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備，用于制取超純水的機(jī)器，超純水最初是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無(wú)硬度，口感較甜，又常稱(chēng)為去離子水。
 
　　通過(guò)以上的介紹是不是了解了多晶硅超純水設(shè)備有什么用了，多晶硅超純水設(shè)備系統(tǒng)穩(wěn)定度強(qiáng)，具有精度高，體積小、重量輕、功耗低等特點(diǎn)。
 

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