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技術(shù)文章

半導(dǎo)體用水設(shè)備的處理系統(tǒng)及工藝流程

閱讀：46發(fā)布時(shí)間：2024-8-21

　　半導(dǎo)體用水主要是介于導(dǎo)體和絕緣體之間的水處理材料，在半導(dǎo)體價(jià)格的進(jìn)程中需要對(duì)用水進(jìn)行處理，該水質(zhì)的要求較高，不能在含有各種離子雜質(zhì)的水進(jìn)行使用。半導(dǎo)體工業(yè)純水設(shè)備采用的制水技術(shù)，能夠有效去除水中的大量雜質(zhì)，保證設(shè)備的出水水質(zhì)。
 
　　半導(dǎo)體行業(yè)用水的主要要求用于高級(jí)的技術(shù)工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程，尤其作為半導(dǎo)體這些方面要求較高的技術(shù)行業(yè)，對(duì)于水質(zhì)的需求也是非常嚴(yán)格的。半導(dǎo)體水質(zhì)金屬離子包含K+、Na+、Mn2+等等金屬離子含量都在大幅度降低PPB級(jí)別之下，電阻率需要在18.2以上，水質(zhì)的雜質(zhì)原子都需要對(duì)產(chǎn)品造成極大的影響。
 
　　半導(dǎo)體用水的制備預(yù)處理系統(tǒng)：一般情況下源水都采用難以滿足超純水的要求，超純水以及制備過(guò)程中，進(jìn)行水處理設(shè)備預(yù)處理工藝流程，能夠大幅度降低水質(zhì)，能夠去除水中的懸浮物以及各類雜質(zhì)有機(jī)物。氧化主要是根據(jù)去除生物講解以及有機(jī)物和氨氮物。能夠吸附同樣能夠去除水中大量雜質(zhì)。
　　半導(dǎo)體用水工藝：
 
　　1、預(yù)處理-反滲透-水箱-陽(yáng)床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
 
　　2、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
 
　　3、 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-0.2或0.5 μ m精密過(guò)濾器-用水對(duì)象
 

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