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當(dāng)前位置：上海民儀電子有限公司>>技術(shù)文章>>日本ULVAC CFB-1600復(fù)合分子泵技術(shù)資料
一、產(chǎn)品簡介
復(fù)合分子泵是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機(jī)械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強(qiáng)時抽速大、壓縮比高的特點，擴(kuò)展了分子泵的應(yīng)用范圍，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、航天航空、半導(dǎo)體、能源、、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。
二、產(chǎn)品特點
復(fù)合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)；由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
三、主要性能指標(biāo)
型號 | CFB-1600 | ||
訂貨號 | 3155 | 3156 | |
進(jìn)氣口法蘭 | — | LF250 | CF250 |
排氣口法蘭 | — | KF50 | |
抽氣速率 | L/s | 1600 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
極限壓強(qiáng) | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | rpm | 21000 | |
啟動時間 | min | ＜6 | |
振動值 | μm | ≤0.15 | |
前極泵 | L/s | 15 | |
冷卻水溫度 | ℃ | ≤20 | |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | |
冷卻水流量 | L/min | 1 | |
加熱器功率 | W | <700 | |
加熱器輸入電壓 | V | AC220 | |
安裝方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～39 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列復(fù)合分子泵安裝尺寸表
型號規(guī)格 | CFB-1600 | |
進(jìn)氣口法蘭 | LF250 | CF250 |
D1 | Ф290 | Ф305 |
D2 | Ф296 | Ф296 |
D3 | □183.8 | □183.8 |
L1 | 161 | 161 |
L2 | 166 | 166 |
H1 | 394 | 394 |
H2 | 110 | 110 |
H3 | 142.5 | 142.5 |
H4 | 104 | 104 |
泵腿螺釘孔 | 4-M8 | 4-M8 |
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