CA-DR-系列電容式加速度傳感器

變電容式加速度傳感器具有較好的低頻特性且具有直流響應，與其它類型的加速度傳感器相比其靈敏度高、環(huán)境適應性好，尤其是受溫度的影響比較?。徊蛔阒帪樾盘柕妮斎肱c輸出呈非線性關系、量程有限、受電纜的電容影響較大；其通用性不如壓電式加速度傳感器，且成本也比壓電式加速度傳感器高得多。隨著微機電技術的發(fā)展，如今的電容式加速度傳感器都普遍采用的MEMS技術制造。下圖顯示了一種MEMS變電容式加速度傳感器的結構，它的整個敏感元件由粘在一起的三個單晶硅片構成。其中上、下硅片構成兩個固定電極，中間的硅片通過化學刻蝕形成由柔性薄膜支撐的具有剛性中心質量塊的形狀，薄膜的厚度取決于該加速度傳感器的量程。另外，在薄膜上還有刻蝕出的小孔，當薄膜隨質量塊運動時，空氣流經小孔從而產生所需的阻尼力。由于采用MEMS技術得到了這種一體化的結構，它的可靠性是相當高的。

CA-DR-系列電容式加速度傳感器

特點：

     l   利用壓電材料的正壓電效應

     l   內裝IEPE隔離二芯低阻電壓輸出

     l   隔離浮置，工業(yè)現(xiàn)場監(jiān)測，抗干擾性能強

電氣指標：

靈敏度：100mV/g±(25℃，160hz)

頻響：0.5到13,000Hz（±3dB）

高振幅：50g

隔離：電路與外殼絕緣

振幅非線性：≤±1%

橫向靈敏度：≤5%

電源：2到10mA恒流，18－30VDC

共振頻率：30kHz

傳輸距離：300米（在測量低頻的速度、位移等）。

輸出方式：A（白色線纜）：OUT