傳感器技能
MEMS工藝和新一代固態(tài)傳感器微布局制造工藝:深應(yīng)聲離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝:如常溫鍵合倒裝焊接、無應(yīng)力菲薄布局封裝、多芯片組裝工藝;新型傳感器:如用微硅電容傳感器、微硅質(zhì)量流量傳感器、航天用動態(tài)傳感器、微型傳感器,汽車壓力、加速度傳感器,環(huán)保用微化學(xué)傳感器等。
智能化技能與智能傳感器信號有線或無線探測、變動處理懲罰、邏輯果斷、成果謀略、雙向通訊、自診斷等智能化技能;智能多變量傳感器,智能電量傳感器和種種智能傳感器、變送器。
集成工藝和多變量復(fù)合傳感器微布局集成制造工藝;工業(yè)控制用多變量復(fù)合傳感器,如:壓力、靜壓、溫度三變量傳感器,氣壓、風(fēng)力、溫度、濕度四變量傳感器,微硅復(fù)合應(yīng)變壓力傳感器,陳設(shè)傳感器。
網(wǎng)絡(luò)化技能和網(wǎng)絡(luò)化傳感器、傳感器網(wǎng)絡(luò)化技能;網(wǎng)絡(luò)化傳感器,使傳感器具有工業(yè)化尺度接口和協(xié)議成果。