氣體低溫冷凝泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié)，并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。
1.低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時(shí)，冷板溫度必須低于25K；抽氫時(shí)，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10mm左右。
2.低溫吸附：氣體分子以一個單分子層厚(10-8cm數(shù)量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在20K時(shí)氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用20K的活性炭吸氫時(shí)吸附平衡壓力則低于10-8Pa。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進(jìn)行抽氣。
3.低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。
一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時(shí)，水的蒸氣壓已低于10-8Pa。溫度為20K時(shí)，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于10-8Pa。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時(shí)，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
氣體低溫冷凝泵的再生探討：
1.再生時(shí)間
①根據(jù)運(yùn)轉(zhuǎn)周期，定期進(jìn)行再生；
②制冷能力降低時(shí)(溫度達(dá)不到20K以下，真空度差)，進(jìn)行再生。
2.再生種類
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?、诩彼僭偕寒?dāng)泵內(nèi)含有毒性、腐蝕性、可燃性氣體以及大量的O2水時(shí)，泵停止后，進(jìn)行短時(shí)間再生。
3.急速再生的實(shí)施
?、訇P(guān)閉高閥，將加熱N2或室溫N2氣由Purge Gas口導(dǎo)入泵腔，被稀釋的毒性氣體就會通過排氣閥放出。這時(shí)，冷板的溫度若達(dá)不到77K以上，泵室的壓力就上不去，氣體也就無法釋放出來，而又會被凝縮在冷頭上。
用N2進(jìn)行沖洗時(shí)，采用的放氣管道來排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時(shí)，由于易產(chǎn)生真空泄露，所以有必要對安全閥進(jìn)行清洗。
?、谟眉訜崽哼M(jìn)行加熱。但要注意加熱時(shí)，溫度不能超過70℃。否則，會損壞冷凝泵。
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