硅材料清洗用超純水設(shè)備工藝
　　所謂的硅材料，一般包括單晶硅、多晶硅、太陽能硅片電池以及半導(dǎo)體生產(chǎn)用的硅材料，這些產(chǎn)品中含有微量的污染就會導(dǎo)致元器件失效。清洗的雜質(zhì)主要包括包括有機物和無機物。無論是那種雜質(zhì)都會導(dǎo)致各種缺陷，因此，對于硅材料清洗用超純水設(shè)備工藝。
　　超純水處理設(shè)備指采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備，用于制取超純水的機器，超純水最初是美國科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為去離子水，可直接飲用，也可煮沸飲用。

　　1、水源的影響
　　由于水是一種溶解能力很強的溶劑，因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2，還有膠體(包括硅膠和腐殖質(zhì)膠體)，天然水中還存在大量的非溶解性質(zhì)，包括粘土、砂石、細(xì)菌、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。
　　2、材料的影響
　　制備超純水的材料設(shè)備的材質(zhì)都是用金屬和塑料制成的，金屬在水中會有痕量溶解，造成金屬離子污染。一些高分子材料，在合成時常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑，也引入大量的金屬、非金屬雜質(zhì)，同時還會帶來有機污染。
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