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小氣體流量計MFC

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:廖小姐/沙先生查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-10-28 17:03:27瀏覽次數(shù):311次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:44條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:廖小姐/沙先生

產(chǎn)品簡介

小氣體流量計MFC

詳細(xì)介紹

QQ圖片20170401150046.jpg

一、 產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS Microelectromechanical systems氣體質(zhì)量流量計和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應(yīng)時間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償。

二、 技術(shù)參數(shù)

2.1 測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

2.2 流量范圍: DN3 100-1000ml/min

DN4 250-2500ml/min

DN6 1000-10000ml/min

DN8 1500-15000ml/min

DN10 2500-25000ml/min

DN18 10-100SLM

注:(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;

(b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。

(c) 每個口徑量程范圍均可擴(kuò)大

((d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定

2.3 流量測量準(zhǔn)確度:±1.5%FS;±2.5%FS

2.4 工作溫度范圍:0-55℃;

2.5 工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa

2.6 供電電源:24VDC±10%;

2.7 輸出信號:4-20mARS485通訊;

2.8 環(huán)境溫度:0-55℃;

2.9 顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。

、 工作原理

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作, 保證傳感器的高度一致,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性,導(dǎo)致傳感器在各個法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題,實際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴,大規(guī)模應(yīng)用比較難"的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計,同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上,一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當(dāng)傳感器工作時,微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動,則在氣道中溫度場可用下述公式來計算:

式中:氣體流動方向為,速度為v,a為擴(kuò)散率。

如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過芯片時,將會帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。

四、產(chǎn)品特點(diǎn)

1、產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。

2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。

3、微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。

4、單個芯片的流量特性的微處理技術(shù),使流量計的量程范圍大大提高。

5、機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計具有更好的重復(fù)性,實現(xiàn)了計量的準(zhǔn)確、可靠。

5、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,MFM流量計的壓力損失達(dá)到最小化。

6、采用國際的MF傳感技術(shù),使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。

7、零點(diǎn)自校功能,測量更準(zhǔn)確。

8、多種氣體實際標(biāo)定,全量程補(bǔ)償。

9、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機(jī)可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。

10、規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定。

11、精度等級高,滿足用戶高精度測量要求。

12、的流量計報警功能,使監(jiān)控更可靠。

13、操作、設(shè)置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。

1

14、運(yùn)用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。

1、產(chǎn)品分類與命名

微氣體質(zhì)量流量計的型號命名

MF?

?

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接頭類型

Connector Type

0:普通









1Swagelok接頭









2:其他









連接形式

0:快速接頭








1:法蘭式








標(biāo)定方式

Calibration Way

0:空氣








1:氫氣








2:氧氣







3:氮?dú)?/span>







品種

01:有顯示;有485通訊口;有4-20mA輸出







02:有顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出







03:有顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出







04:有顯示;無485通訊口;無4-20mA輸出







05:無顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出







06:無顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出






材質(zhì)

Texture

0304不銹鋼l






1316不銹鋼






2316L不銹鋼






3:鋁






4:其他





壓力

0≤0.3Mpa





1≤0.6Mpa





2≤1.0Mpa




被測介質(zhì)



流量范圍


產(chǎn)品通徑

03DN3


06DN6


08DN8


10DN10

產(chǎn)品類型

M:質(zhì)量流量計

C:質(zhì)量流量控制器


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