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奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100

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產(chǎn)品型號(hào)LEXT OLS4100

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更新時(shí)間：2022-12-30 16:22:40瀏覽次數(shù)：485次

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江南儀器為您提供奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXTOLS4100的方案介紹：奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXTOLS4100是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測(cè)量

詳細(xì)介紹

江南儀器為您提供奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100的方案介紹：
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸的方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測(cè)量。分辨率達(dá)10nm，可以方便快捷地獲取影像，同時(shí)配備豐富的測(cè)量功能。
采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來無法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。
由于采用405 nm 的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開創(chuàng)的I-Z 曲線（請(qǐng)參閱第23 頁(yè)），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。
OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。
適用于透明層
多層模式 
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。 
觀察／測(cè)量透明材料的各個(gè)層 
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層，也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
 
LEXT 專用物鏡
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100技術(shù)規(guī)格：
主機(jī)
LSM 部分 光源、檢出系統(tǒng) 光源：405 nm 半導(dǎo)體激光 
檢出系統(tǒng)：光電倍增管
總倍率 108x ～ 17,280x
變焦 光學(xué)變焦1x ～ 8x
測(cè)量 平面測(cè)量 重復(fù)性 00x: 3σn-1=0.02 µm
正確性 測(cè)量值的±2%以內(nèi)
高度測(cè)量 方式 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動(dòng)方式
行程 10 mm
內(nèi)置比例尺 0.8 nm 
移動(dòng)分辨率 10 nm
顯示分辨率 1 nm 
重復(fù)性 50x: σn-1=0.012 μm
正確性 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝測(cè)量長(zhǎng)度μm）
彩色觀察部分 光源、檢查系統(tǒng) 光源：白色LED， 
檢查系統(tǒng)：1/1.8 英寸200 萬像素單片CCD
變焦 數(shù)碼變焦1x ～ 8x
物鏡轉(zhuǎn)換器 6 孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
微分干涉單元 微分干涉滑片：U-DICR， 
內(nèi)置偏振光片單元
物鏡 明視場(chǎng)平面半消色差透鏡5x、10x 
LEXT 專用平面復(fù)消色差透鏡20x、50x、100x
Z 對(duì)焦部分行程 100 mm 
XY 載物臺(tái) 100×100 mm（電動(dòng)載物臺(tái)）， 
選件: 300×300 mm（電動(dòng)載物臺(tái)）

此設(shè)備為專為在工業(yè)環(huán)境下實(shí)施檢測(cè)設(shè)計(jì)的A 類設(shè)備。如在住宅區(qū)內(nèi)使用可能會(huì)干擾其他設(shè)備。

物鏡
型號(hào) 倍率 視場(chǎng) 工作距離（WD） 數(shù)值孔徑（N/A）
MPLFLN5X 108x-864x 2,560-320 μm 20.0 mm 0.15
MPLFLN10X 216x-1,728x 1,280-160 μm 11.0 mm 0.30
MPLAPON20XLEXT 432x-3,456x 640-80 μm 1.0 mm 0.60
MPLAPON50XLEXT 1,080x-8,640x 256-32 μm 0.35 mm 0.95
MPLAPON100XLEXT 2,160x-17,280x 128-16 μm 0.35 mm 0.95

高度測(cè)量

可以測(cè)量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。 
輪廓測(cè)量也同樣可用

表面粗糙度測(cè)量

可以測(cè)量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。

 

 

面積／體積測(cè)量

根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值，可以測(cè)量其上部或下部的體積。

粒子測(cè)量 (選購(gòu)件)

可以通過分離功能使粒子自動(dòng)分離，設(shè)置閾值，根據(jù)ROI 設(shè)置檢測(cè)范圍。

 

 

幾何測(cè)量

可以測(cè)量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測(cè)量任意區(qū)域的面積。

膜厚測(cè)量 (選購(gòu)件)

可以根據(jù)測(cè)出的對(duì)焦位置，測(cè)量透明介質(zhì)的膜厚。

 

 

自動(dòng)尋邊測(cè)量 (選購(gòu)件)

可以自動(dòng)尋邊，測(cè)量線寬和圓，減少人為的測(cè)量誤差。

 

關(guān)鍵詞：共聚焦顯微鏡 顯微鏡

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