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北京世紀(jì)科信科學(xué)儀器有限公司
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更新時間：2023-03-06 14:29:59瀏覽次數(shù)：168次
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鏡面外觀缺陷檢測系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介：
晶圓、基片及精密光學(xué)元件表面缺陷自動篩查和量測
檢測對象：
晶圓片、蓋板、基片、精密光學(xué)元件（平晶，棱鏡，玻片等）
面向行業(yè)：
半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、3C蓋板及光學(xué)基片、光學(xué)拋光加工
技術(shù)參數(shù)：
Ø 缺陷檢測口徑300X200mm （覆蓋8寸晶圓，可訂制12寸晶圓機(jī)臺）
Ø 缺陷檢測分辨率0.5um
Ø 缺陷檢測類型： 麻點、劃痕、紋理、異色、破邊等
Ø 自動缺陷識別及尺寸量測
Ø 手動上下片，支持半自動和自動上下片的開發(fā)
Ø 技術(shù)特點
Ø 采用多模式成像確保各種不同類型的缺陷能夠被檢測
Ø 可以按照20/10、40/20、60/40標(biāo)準(zhǔn)對缺陷進(jìn)行量測判定
Ø 軟硬件可以按照實際樣品檢測需求進(jìn)行訂制
可附帶增加檢測基片三維翹曲功能
◆ 測量實例
麻點和劃痕 表面紋理
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