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深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司
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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號TS-PL05
品 牌
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更新時(shí)間：2023-03-02 08:39:24瀏覽次數(shù)：668次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品介紹型號小型等離子清洗機(jī)TS-PL05腔體材質(zhì)316不銹鋼容量5L功率500W電源頻率40KHz/13
| 型號 | 小型等離子清洗機(jī)TS-PL05 |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹鋼 |
| 容量 | 5L |
| 功率 | 500W |
| 電源頻率 | 40KHz/13.56MHz可選 |
| 腔體尺寸 | 直徑150*280 |
| 外形尺寸（L*W*H） | 660*700*600 |
| 真空度 | 30pa-100pa |
| 氣體通道 | 兩路工作氣體O2、Ar等 |
| 控制方式 | 人機(jī)界面 |
等離子清洗技術(shù)是一種高精密清洗技術(shù)，其清洗原理是先產(chǎn)生真空，在真空狀態(tài)下，由于壓力的減小，增加了分子間間距，使得分子間力逐漸變小， 再利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將工藝氣體震蕩，使其成為具有一定反應(yīng)活性或高能量的離子， 通過這些離子與工件表面的有機(jī)污染物或微顆粒 污染物反應(yīng)或碰撞形成了揮發(fā)性物質(zhì)，然后由工作氣體及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去，從而達(dá)到表面清潔活化的目的。與溶劑清洗不同，等離子清洗的機(jī)理是依靠處于“等離子態(tài)"的物質(zhì)的“活 化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。從清洗效果來說，等離子體清洗是所有清洗工藝中的剝離式的清洗
1)氬氣:物理轟擊是氬氣清洗的機(jī)理。氬氣是 的物理等離子體清洗氣體,原因在于它原子的尺寸大?？梢杂煤艽蟮牧α哭Z擊樣品表面。正的氬離子將被吸引到負(fù)向電極板。撞擊力足以去除表面上的任何污垢。然后這些氣態(tài)污物通過真空泵排出。
2)氧氣:化學(xué)工藝中等離子體與樣品表面上的化合物反應(yīng)。例如,有機(jī)污染物可以有效地用氧氣等離子去掉,這里氧氣等離子與污染物反應(yīng),產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水。一般地說,化學(xué)反應(yīng)清除有機(jī)污染物效果更好。
3)氫氣:氫氣可供去除金屬表面氧化物使用。 它經(jīng)常與氬氣混合使用,以提高去除速度。一般人們擔(dān)心氫氣的易燃性,氫氣的使用量非常少。人們更大的擔(dān)心是氫氣的存儲。我們可以采用氫氣發(fā)生器從水中產(chǎn)生氫氣。從而去掉了潛在的危害性。
4)CF4/SF6:氟化的氣體在半導(dǎo)體工業(yè)以及PWB (印制線路板)工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。在IC封裝中的應(yīng)用只有一種。這些氣體用在PADS工藝中,通過這種處理,氧化物轉(zhuǎn)化成氟氧化物,允許無流動(dòng)焊接。
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