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住友臭氧發(fā)生器儀器

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更新時(shí)間：2023-06-25 12:50:29瀏覽次數(shù)：137次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

住友臭氧發(fā)生器儀器住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧發(fā)生器儀器

詳細(xì)介紹

住友臭氧發(fā)生器儀器

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧發(fā)生器儀器

應(yīng)用：

1. 半導(dǎo)體器件

2. Si/復(fù)合晶圓

3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）

4. 光罩

5. 發(fā)光二極管

具體規(guī)格

臭氧氣體流速	1L/min to 24L/min [at 210g/m3(N)]
臭氧氣體供應(yīng)壓力	*大0.15MPa
冷卻水溫度	20°C±2°C
尺寸	W483mm x D453mm x H266mm
重量	30 to 45kg
功率	200-220VAC, 3-phase