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長沙沛鈺進出品貿(mào)易有限公司


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雙通道ALD管式爐系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304（大學(xué)城辦事處)查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-02-28 09:21:21瀏覽次數(shù)：294次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：487條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：長沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304（大學(xué)城辦事處)

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品詳情型號：ALD-1200X-4產(chǎn)品概述：ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發(fā)生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)

詳細介紹

產(chǎn)品詳情

型號：ALD-1200X-4

產(chǎn)品概述：ALD-1200X-4是一款4英寸管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發(fā)生器以及用于CVD生長納米材料和薄膜材料的4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)。該管式爐系統(tǒng)簡潔的設(shè)計使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗。

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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
控制面板

· 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制

· 兩個ALD進氣閥

· 請點擊下圖查看控制面板（點擊圖片查看詳細資料）

  •   


ALD進氣閥

兩個ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉）

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精密液體氣相發(fā)生器

精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進氣閥

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雙溫區(qū)管式爐

· 連續(xù)工作的溫度為1100℃

· 兩個溫區(qū)由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為PID30段程序化控溫

· 每個加熱區(qū)長度為200mm，加熱區(qū)總長度為400mm

· 爐管兩端放置管堵時兩溫區(qū)的溫度差為500℃

· 輸入電壓：208-240V AC，單向

功率為4KW

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防腐型數(shù)顯真空計

· 測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr

· 耐腐蝕

· 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性

· 可實現(xiàn)快速的氣體監(jiān)測，響應(yīng)時間較短

易于更換插頭及傳感元件

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真空泵（選配）

· 管內(nèi)真空度可達10-2Torr

真空泵不包含在本系統(tǒng)內(nèi)，如您進行CVD實驗可點擊下圖選購無油渦旋真空泵

  •    


混氣系統(tǒng) 

· 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)

· 可選購恒溫控制模塊

  •    


更新觀念

· 您可采用ALD設(shè)備搭建等離子增強原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PE-ALD+CVD）和等離子增強原子層沉積+物理氣相沉積+化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PE-ALD+PVD+CVD），用于生長各類材料

· blob.png( PE-ALD+CVD)   blob.png  ( PE-ALD+PVD +CVD)


質(zhì)保期

一年保質(zhì)期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）


質(zhì)量認(rèn)證

· CE認(rèn)證

· 所有電器元件（＞24V）均滿足UL/MET/CSA認(rèn)證

· 如您另付費用，我們可保證單臺儀器通過TUV（UL61010）或CSA認(rèn)證

  • Click to enlarge  


注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 點擊此處了解如何選擇本公司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭

本公司有權(quán)隨時修改PE-CVD系統(tǒng)的設(shè)計不再另行通知，但我們保證修改之后的儀器質(zhì)量可以達到和超過上述標(biāo)準(zhǔn)


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