昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2023-07-11 08:45:03瀏覽次數(shù)：318次
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日本愛(ài)發(fā)科ULVAC渦旋干式真空泵 DIS-251維修保養(yǎng)
特性：
? 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
? 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。
? 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。
? 低振動(dòng)低噪音。
? 維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。
應(yīng)用：
? 分析設(shè)備 ? 氣體回收系統(tǒng) ? 涂料設(shè)備 | ? TMP 前級(jí)泵 ? 氦滲漏探測(cè)器 ? 半導(dǎo)體制造工藝 |
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