污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
成都漢普升科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地成都市
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更新時間：2023-11-17 14:40:23瀏覽次數(shù)：236次
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成都真空設(shè)備廠家 surpass電磁耦合磁控濺射 固體潤滑 防腐 超硬表面改性 可定制
●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制，與某研究所國家重點實驗室聯(lián)合研制，先后獲得獎勵3項，聯(lián)合申報國家2項，用于固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域，服務(wù)于科研和國家重大項目需求，具有多功能、高穩(wěn)定的特點，歡迎各位聯(lián)合研制。
●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成，同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。
●真空腔體：φ900X1050，雙層水冷；（可根據(jù)實際需求定制）
●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；
●真空抽速：4000-7000L/S，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計，全金屬防爆真空規(guī)；
●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）；
●磁控靶組件：4個矩形靶，4個圓柱靶，根據(jù)客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源；
●離子源：2套線性離子源，匹配專用電源；
●氣路：4路反應(yīng)氣體，進(jìn)口質(zhì)量流量計，1路毛細(xì)保護氣路；
●烘烤溫度：400℃，不銹鋼鎧裝加熱器，可拆卸快裝結(jié)構(gòu)；
●工件盤：導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套（標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位，可擴展數(shù)百件工件共同沉積），工件盤裝夾移動小車一輛；
●控制系統(tǒng)：西門子PLC+西門子人機界面+工業(yè)控制計算機。
●特別說明：該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制，獲得國家科技進(jìn)步、國家科技發(fā)明獎、機械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎和中科院重大設(shè)備專項等獎勵，公司提供一攬子技術(shù)解決方案，同時與合作伙伴共享知識產(chǎn)權(quán)。
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