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小型真空高低溫探針臺

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更新時間：2024-04-25 15:03:59瀏覽次數(shù)：111次

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產(chǎn)品簡介

小型真空高低溫探針臺，高低溫真空探針臺，高溫400℃低溫-196℃，10微米探針尖，移動滑塊精度≤0.01mm

詳細(xì)介紹

小型真空高低溫探針臺，高低溫真空探針臺，高溫400℃低溫-196℃，10微米探針尖，移動滑塊精度≤0.01mm

高低溫真空探針臺，能夠為測試樣品提供高真空和極 . 端高溫/低溫的測試環(huán)境，非常適合各種半導(dǎo)體材料、芯片和電子元器件的無損測試，應(yīng)用方向有：真空&極 . 端溫度條件下的芯片/MEMS/NEMS測試；寬溫區(qū)材料或器件的IV/CV特性測試；LD/LED/PD測試；光譜特性測試；霍爾效應(yīng)測量；可變磁場環(huán)境中電磁輸運特性測試；微波射頻測試；瞬態(tài)光電流響應(yīng)測試；拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像；電-光效應(yīng)測試；超導(dǎo)測試試驗等。

產(chǎn)品特點

◆高真空度，真空度優(yōu)于1×10-3 Pa

◆高精度溫控系統(tǒng)，自動冷媒流量控制，-196℃到400℃溫度區(qū)間內(nèi)精確控制樣品臺溫度

◆防輻射屏設(shè)計，保證樣品溫度均勻

◆兼容高倍率金相顯微鏡

◆采用液氮或氦氣壓縮機(jī)制冷

小型真空高低溫探針臺參數(shù)

真空腔體
類型	加熱型350℃ 或者加熱制冷型室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
腔體內(nèi)尺寸	φ90x40mm
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
腔體抽氣口	KF16
腔體進(jìn)氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)	304不銹鋼
樣品臺尺寸	26X26mm
樣品臺-視窗距離	30mm（可選凹視窗間距15mm）
樣品臺測溫傳感器	A 級PT100鉑電阻
樣品臺溫度	室溫到350℃（可選高低溫樣品臺高溫350℃低溫-190℃）
樣品臺測溫誤差	±0.2℃
樣品臺變溫速率	高溫10℃/min 低溫5℃/min 值
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實時溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可定做6探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	12mm ±6mm
X軸控制精度	≤5μm
Y軸移動行程	12mm ±6mm
Y軸控制精度	≤5μm
Z軸移動行程	12mm ±6mm
Z軸控制精度	≤5μm
數(shù)碼顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數(shù)	100倍
顯微鏡工作間距	50-150mm
相機(jī)分辨率	1080P 60幀
相機(jī)信號輸出	HDMI輸出+USB輸出
LED可調(diào)光源	LED光源
顯示屏	5寸屏幕一體機(jī)