原理
基于石英諧振原理，以石英基膜作為感壓元件，當(dāng)外界輸入壓力時(shí)，引起石英基膜發(fā)生應(yīng)變，導(dǎo)致與感壓膜剛性連接的石英振梁的諧振頻率發(fā)生變化，從而實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量。外配激振電路，即可將輸入的壓力轉(zhuǎn)換為頻率輸出。
優(yōu)勢(shì)
1、感壓模式：石英晶體感知壓力變化，溫漂系數(shù)小，穩(wěn)定性高，石英晶體本身決定的，它的彈性模量或者說(shuō)楊氏模量比硅的小一半。所以，對(duì)于硅材料來(lái)說(shuō)，石英材料本身存在一定的優(yōu)勢(shì)。
2、材料：石英諧振芯體相對(duì)陶瓷或者金屬的，體積更小，穩(wěn)定性更強(qiáng)，技術(shù)含量更高。全石英結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，上面采用了ack，面板就是一個(gè)接口電路，把差動(dòng)電容的變化轉(zhuǎn)化成數(shù)字量 ，還有一個(gè)溫度測(cè)量功能，這樣客戶在使用時(shí)不用再設(shè)計(jì)微弱信號(hào)減弱，直接用單片機(jī)把數(shù)據(jù)讀取出來(lái)。
3、工藝：基于石英QMEMS工藝，石英改良模及石英振梁的一體化加工，這個(gè)技術(shù)有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，在國(guó)內(nèi)也是批量生產(chǎn)化生產(chǎn)。
4、創(chuàng)新方案：石英加工技術(shù)和傳感器微弱信號(hào)檢測(cè)、ic技術(shù)。
5、結(jié)構(gòu)：石英絕壓芯體（表頭/機(jī)械部件）：有三條梁組成，中間這個(gè)是音差/感壓枕梁，外面有壓力輸入會(huì)引起感壓枕梁的頻率變化，上面是基本枕梁（不受壓力變化影響，但是會(huì)隨著溫度發(fā)生變化），下面是一個(gè)配重枕梁，基本枕梁和配重枕梁的差值就是感壓枕梁，從而提高產(chǎn)品的精度。
6、封裝材料：封裝的材料一半是316L。
7、輸出信號(hào)：壓力直接可轉(zhuǎn)成頻率信號(hào)，產(chǎn)品主要通過(guò)頻率的變化反應(yīng)壓力的變化。
應(yīng)用領(lǐng)域：
氣壓高度表、飛行器大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)、液位測(cè)量、壓力變送器、流量測(cè)量、工業(yè)控制，能源行業(yè)，具體包括制藥行業(yè)、監(jiān)測(cè)油井和天然氣井、海洋工程、電蒸汽鍋爐過(guò)程測(cè)量等需要高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性、溫度特性、靜壓特性等領(lǐng)域。
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