給出了在真空容器和分子泵之間具有閥和冷阱的超高真空系統(tǒng)。 粗抽管線和前級管線與圖5-21所示的擴散泵抽氣系統(tǒng)相同。 分子泵的配置不同于前級泵和擴散泵。 擴散泵的正常運行需要前級泵具有足夠大的抽速，以確保在大排氣量時，擴散泵前級的壓力低于擴散泵的臨界前級壓力。 渦輪分子泵需要選擇具有足夠吸力的前級泵，以使靠近前級管的葉片以分子流或僅在大排量處處于過渡流。

大多數(shù)分子泵的大穩(wěn)態(tài)入口壓力p約為0.5?1Pa，大前級壓力約為壓力前的30Pa，因此大排量時分子泵的壓縮比（pfront / p）或前 級泵的抽速與分子泵的抽速之比（S前/ S分鐘）在60到30之間。對于在前級管路中要求氫分壓特別小的系統(tǒng)，抽速比應(yīng)配置為 應(yīng)為20：1.渦輪分子泵是較清潔的真空泵（也稱為半無油泵）。 它們對諸如油脂的大分子具有較高的壓力，并且不需要液氮冷阱來防止軸承潤滑油或機械泵泵流體倒流。 在圖5-22中的真空室和分子泵之間安裝液氮捕集器的主要目的是提高系統(tǒng)中水蒸氣的泵送速度，這可以降低烘烤脫氣時間短，粗抽管無需配備冷阱，粗抽采用10-1050Pn的轉(zhuǎn)換壓力。
  力可以有效地防止機械泵油通過粗糙的泵送管道進(jìn)入真空室。 小型渦輪分子泵抽油機可取消粗抽泵管路，同時啟動渦輪分子泵和機械泵，并通過渦輪分子泵粗抽真空室。 重要的是要指出，配置的機械泵的泵送速度應(yīng)能夠在渦輪分子泵達(dá)到大速度之前將真空室泵送至過渡壓力。 否則，分子泵驅(qū)動電機的過電流保護(hù)電路將關(guān)閉渦輪分子泵。 關(guān) 當(dāng)渦輪分子泵達(dá)到其額定轉(zhuǎn)速的約75％時，可選的機械泵應(yīng)能夠?qū)⒄婵涨槐盟偷?0?200Pa。 在此壓力下，可以防止機械泵油倒流。 大多數(shù)渦輪分子泵達(dá)到額定轉(zhuǎn)速的啟動時間為5?10min。 機械泵的有效抽速可以根據(jù)分子泵的啟動時間和真空能力（包括管道和分子泵）來計算。
  渦輪與泵的氫氣的壓縮比以及前極氫氣的分壓是影響極限壓力的重要原因之一。 真空泵的維護(hù)會降低前部的氫氣分壓，這會增加渦輪分子泵的極限壓力。 高壓縮渦輪分子泵采用兩級旋片機械泵作為前級，極限壓力約為5×10-9Pa。 當(dāng)擴散泵用作前級泵時，可以增加到1 10-Pa。 在泵之間加一個鈦吸附阱或液氮分子篩吸附阱，其極限壓力可低于10-9Pa
  用于泵送大流量的渦輪分子泵的泵送系統(tǒng)，例如離子蝕刻機，需要大量的處理氣體。 當(dāng)入口壓力過高時，氣流的摩擦阻力將減慢分子泵的速度，因此與氫氣的壓力比將迅速降低。

上海振暢機電科技有限公司
地址：寶山區(qū)月羅公路2120號