產(chǎn)品特色
數(shù)字化產(chǎn)品
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：優(yōu)于0.5%
高量程比 200:1
響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms
內(nèi)置98種氣體
可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體，并存儲(chǔ)20種混合氣
性能指標(biāo)
量程0-0.5 SCCM —— 0-5000 SLPM
量程比200 :1
介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面氣體兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
精度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）
高精度±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配
僅適用于量程為5 SCCM-500 SLPM的設(shè)備
可控流量02.4 %滿量程
顯示示屏帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
量程0-0.5 SCCM —— 0-5000 SLPM
量程比200 :1
介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體，請(qǐng)參考背面氣體兼容表
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇
精度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）
高精度±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配
僅適用于量程為5 SCCM-500 SLPM的設(shè)備
可控流量02.4 %滿量程
顯示示屏帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
選項(xiàng)配件
數(shù)字化產(chǎn)品
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制，如體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：優(yōu)于0.5%
高量程比 200:1
響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms
內(nèi)置98種氣體
可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體，并存儲(chǔ)20種混合氣
環(huán)保在線