半導(dǎo)體芯片超純水氮封閥裝置設(shè)計(jì)規(guī)范

【資料簡(jiǎn)介】

半導(dǎo)體芯片超純水氮封閥裝置設(shè)計(jì)規(guī)范

一般供氮?dú)鈮毫υ?×10^5-10×10^5Pa之間,罐頂呼吸閥僅起安全作用，是在主閥失靈,導(dǎo)致罐內(nèi)壓力過高或過低時(shí)，起到安全作用，在正常情況下不工作,泄氮閥安裝在罐頂，口徑一般與進(jìn)液閥口徑一致,一般泄氮閥的壓力設(shè)定點(diǎn)略大于供氮閥的壓力設(shè)定點(diǎn)，以免供、泄氮裝置頻繁工作，浪費(fèi)氮?dú)?、影響設(shè)備的使用壽命
在超純水系統(tǒng)中，超純水水箱泄氮部分也可以采用水封的方式進(jìn)行，即從水箱上部氣體空間引出單獨(dú)的管道，末端浸入水槽液面中，液面高度根據(jù)水箱上部氣體空間允許的大正壓確定，也可以實(shí)現(xiàn)泄氮功能且比較經(jīng)濟(jì)。  供氮閥（供氮裝置）無(wú)需外加能源，利用被調(diào)介質(zhì)自身能量為動(dòng)力源，自動(dòng)控制閥門介質(zhì)流量，使閥后壓力保持恒定的氣封裝置?，F(xiàn)已廣泛應(yīng)用于儲(chǔ)罐、導(dǎo)熱油槽、超純水等氣封、氮封系統(tǒng)。

      供氮閥（供氮裝置）特點(diǎn)：控制精度高，可比一般直接操作型調(diào)壓閥高一倍左右。調(diào)節(jié)壓差比大（如閥前0.8MPa、閥后0.001MPa）特別適合微壓氣體控制。壓力設(shè)定在指揮器上實(shí)現(xiàn)，因而方便、快捷、省力省時(shí)可在運(yùn)行狀態(tài)下連續(xù)設(shè)定。半導(dǎo)體超純水設(shè)備，也叫半導(dǎo)體超純水機(jī)，是指應(yīng)用離子交換和電滲析器等水處理設(shè)備將原水（或回水）中的離子交換樹脂進(jìn)行脫鹽，使原水（或回水）的水質(zhì)達(dá)到10~5μm數(shù)量級(jí)的處理工藝。半導(dǎo)體超純水設(shè)備工藝采用預(yù)處理+反滲透+ EDI+消毒工藝，預(yù)處理主要包括原水箱、原水泵、石英砂過濾器、活性炭過濾器、軟水器、保安過濾器。

半導(dǎo)體芯片超純水氮封閥裝置設(shè)計(jì)規(guī)范半導(dǎo)體超純水設(shè)備原理：

1.通過活性炭過濾芯去除原水中的顆粒物；

2.采用 EDI超純水設(shè)備進(jìn)行脫鹽，將水中的離子去除；

3.通過保安過濾器，防止部分細(xì)菌和微生物進(jìn)入水箱，防止水箱內(nèi)細(xì)菌滋生；

4.將超濾膜與樹脂混合，形成高密度微濾膜；

5.使硬度離子和 COD等降低至50 ppm以下；

6.采用離子交換樹脂吸附水中的重金屬離子和有機(jī)物，降低水中 pH值；

7.進(jìn)行紫外線殺菌消毒。

在實(shí)際應(yīng)用中需要根據(jù)用水要求配置各種不同規(guī)格的超純水機(jī)來(lái)滿足生產(chǎn)需求?？梢詽M足生產(chǎn)不同產(chǎn)品或使用不同條件所需純水水質(zhì)要求，實(shí)現(xiàn)了高效連續(xù)化、自動(dòng)化生產(chǎn)。在半導(dǎo)體超純水處理中，我們經(jīng)常會(huì)遇到這種問題：不知道該怎么設(shè)計(jì)設(shè)備和設(shè)計(jì)方案，甚至不知道如何進(jìn)行日常維護(hù)。我們來(lái)看看半導(dǎo)體超純水設(shè)備是如何工作的！

1.原水箱

原水箱的主要作用是儲(chǔ)存反滲透系統(tǒng)產(chǎn)生的濃水，用于沖洗反滲透膜組件、降低反滲率和保護(hù)保安過濾器等設(shè)備。

2.石英砂過濾器

原水箱內(nèi)的水通過過濾器的入口進(jìn)入過濾池，并由排污管排出，過濾池內(nèi)的雜質(zhì)被截留在濾料層上，再經(jīng)壓差表顯示并根據(jù)原水流量自動(dòng)進(jìn)行反沖洗，將吸附在濾料層上的雜質(zhì)沖洗掉，以保證反滲透進(jìn)水水質(zhì)。

當(dāng)原水箱內(nèi)的水位達(dá)到設(shè)定值時(shí)，控制箱發(fā)出報(bào)警信號(hào)到操作管理室通知管理人員。操作人員通過控制箱上的手動(dòng)閥來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)原水供給裝置及反滲透系統(tǒng)的啟停以及對(duì)各產(chǎn)水電導(dǎo)率及脫鹽率數(shù)據(jù)的顯示。當(dāng)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)，管理室發(fā)出控制信號(hào)到操作管理室通知操作人員各產(chǎn)水電導(dǎo)率及脫鹽率數(shù)據(jù)；當(dāng)系統(tǒng)故障時(shí)，根據(jù)故障提示信息通知操作人員。

3.活性炭過濾器

活性炭過濾器主要是去除水中的顆粒雜質(zhì)、懸浮物和有機(jī)化合物，過濾出水中的無(wú)機(jī)物。活性炭過濾器，雖然價(jià)格相對(duì)便宜，但是其處理效果不太理想。原因是：由于活性炭顆粒之間存在縫隙，容易造成漏流，或者存在雜質(zhì)粘在活性炭的表面上。為了避免漏流或雜質(zhì)粘在活性炭表面上的情況出現(xiàn)，我們需要使用專業(yè)的除垢藥劑對(duì)活性炭進(jìn)行定期除垢。

4.軟水器

軟水器采用樹脂再生原理，用一定數(shù)量的交換離子使水軟化。軟水器除具有軟化功能外，還具有除垢、滅菌作用，并可去除水中的多種有機(jī)物及游離堿。當(dāng)原水通過進(jìn)水壓力裝置時(shí)，會(huì)在樹脂上生成一種帶有特定電荷的鈉離子或鉀離子，若原水中鈣、鎂、鋅等含量過高，則易形成水垢；若水中鹽類過多，會(huì)造成樹脂堵塞而使再生無(wú)效；若水溫過低（低于5℃）或因原水含懸浮固體及細(xì)菌等雜質(zhì)而使樹脂發(fā)生結(jié)垢現(xiàn)象。因此必須在原水進(jìn)入樹脂前加裝一個(gè)交換離子的裝置來(lái)防止上述情況的發(fā)生。在我國(guó)使用的軟水器主要有電滲析器、離子交換罐等。

半導(dǎo)體芯片超純水氮封閥裝置設(shè)計(jì)規(guī)范 技術(shù)參數(shù)和性能

閥體

公 稱 通 徑		DN25、32、40、50、65、80、100mm
公 稱 壓 力		PN1.0M Pa JB/T79.1-94、79.2-94等
法 蘭 標(biāo) 準(zhǔn)
閥 體 材 料		鑄鐵（HT200）、鑄鋼（ZG230-450）、鑄不銹鋼（ZG 1Cr18Ni9Ti、ZG1Cr18Ni12Mo2Ti）
閥芯材料	硬 密 封	不銹鋼（1Cr18Ni9Ti、1Cr18Ni12Mo2Ti） 不銹鋼鑲嵌橡膠圈
	軟 密 封
閥 桿 材 料		不銹鋼（1Cr18Ni9Ti、1Cr18Ni12Mo2Ti）
流 量 特 性
使 用 溫 度

半導(dǎo)體芯片超純水氮封閥裝置設(shè)計(jì)規(guī)范執(zhí)行器

壓力設(shè)定范圍(KPa)	0.4～0.5 5～10 9～14 13～19 18～24 22～28 27～33 36～44 42～51 49～58 56～66
膜蓋材料	A3、A4鋼板涂四氟乙烯
膜片材料	丁晴橡膠、乙炳橡膠、氟橡膠、耐油橡膠

性能

設(shè)定值偏差±5%		允許泄露量
允許泄露量	標(biāo)準(zhǔn)型	IV級(jí)（符合GB/T4312-92標(biāo)準(zhǔn)）
	嚴(yán)密型	VI級(jí)（符合GB/T4312-92標(biāo)準(zhǔn)）

五、半導(dǎo)體芯片超純水氮封閥裝置設(shè)計(jì)規(guī)范額定流量系數(shù)、額定行程、性能

ZZDG供氮裝置

公稱通徑DN	25									32	40	50	65	80	100
閥座通徑Dn	5	6	7	8	10	12	15	20	25	32	40	50	65	120	100
流量系數(shù)Kv	0.2	0.32	0.5	0.8	1.8	2.8	4.4	6.9	11	20	30	48	75	120	190
額定行程L	8									10		14	20		25

ZZDX泄氮裝置

公稱通徑DN	20	25	32	40	50	65	80	100
閥座通徑Dn	20	25	32	40	50	65	80	100
流量系數(shù)Kv	6.9	11	20	30	48	75	120	190
額定行程L	8		10		14	20		25

六、自力式氮封閥 外形尺寸

供氮裝置外形尺寸及重量

公稱通徑DN(mm)	25	32	40	50	65	80	100
L	160	180	200	230	290	310	350
A	308	308	308	308	394	394	394
H2	415	415	415	115	415	415	415
H1	60	75	80	85	95	105	120
H	720	730	730	750	790	840	890
重量(kg)	32	35	40	50	90	115	280

供氮裝置外形尺寸及重量

公稱通徑DN(mm)	25	32	40	50	65	80	100
L	160	180	200	230	290	310	350
A	308	308	308	308	394	394	394
H1	60	75	80	85	95	105	120
H	380	400	420	430	550	560	570
重量(kg)	12	13	15	17	20	28	38

戶用戶提供更加適合國(guó)情的閥門設(shè)備

半導(dǎo)體芯片超純水氮封閥裝置設(shè)計(jì)規(guī)范

　　1、當(dāng)?shù)忾y關(guān)閉時(shí)，主閥的活塞是在一個(gè)密封室內(nèi)，當(dāng)儲(chǔ)罐壓力等于或大于設(shè)定的壓力時(shí)，膜片就被向上頂起，氣導(dǎo)閥在彈簧的作用下向上移動(dòng)，把氣導(dǎo)閥上的密封圈緊緊壓在閥座上，關(guān)閉了控制氣的進(jìn)口，同時(shí)特殊閥芯室的壓力增加并接近氮?dú)饪偣艿膲毫?，此壓力通過內(nèi)部通道，從特殊閥芯室傳到主閥閥芯室，主閥的活塞就處于氮?dú)饪偣軌毫Φ淖饔?，由于主閥閥芯上、下所受氣體壓力平衡，所以主閥閥芯在自重和彈簧的作用下將閥門緊密關(guān)死。

　2、氮封閥打開時(shí)，當(dāng)儲(chǔ)罐壓力稍微低于設(shè)定壓力時(shí)，膜片因?yàn)楦袘?yīng)壓力下降而向下移動(dòng)，推動(dòng)氣導(dǎo)閥打開，氮?dú)饨?jīng)過孔板、氣導(dǎo)閥的出口進(jìn)入儲(chǔ)罐，使儲(chǔ)罐內(nèi)的壓力增加，同時(shí)氣導(dǎo)閥的特殊閥芯室的壓力下降，氮?dú)馔ㄟ^內(nèi)部通道從特殊閥芯室進(jìn)入主閥閥芯室，由于主閥閥芯的活塞面積大于主閥閥座孔面積并有彈簧的彈力和主閥的重量，所以當(dāng)儲(chǔ)罐壓力稍微低于設(shè)定點(diǎn)時(shí)，特殊閥芯室和主閥閥芯室的壓力降低很小，主閥仍然保持關(guān)閉，氮?dú)庵粡臍鈱?dǎo)閥進(jìn)入儲(chǔ)罐。

半導(dǎo)體芯片超純水氮封閥裝置設(shè)計(jì)規(guī)范選用需要注意什么？
 1、氮封閥直接按照接管管徑選取是不合理的。閥門的調(diào)節(jié)品質(zhì)與接管流速或管徑?jīng)]有關(guān)系，閥門的調(diào)節(jié)品質(zhì)僅與水的阻力及流量有關(guān)。一旦系統(tǒng)設(shè)備確定之后，理論上適合該系統(tǒng)的閥門只有一種理想的口徑，而不會(huì)出現(xiàn)多種選擇。
 2、調(diào)節(jié)閥口徑不能過小。選擇的閥門口徑過小，一方面會(huì)增加系統(tǒng)的阻力，甚至?xí)霈F(xiàn)閥門口徑100%開啟時(shí)，系統(tǒng)仍無(wú)法達(dá)到設(shè)定的容量要求，導(dǎo)致嚴(yán)重后果。另一方面，閥門將需要通過系統(tǒng)提供較大的壓差以維持足夠的流量，加重泵的負(fù)荷，閥門易受損害，對(duì)閥門的壽命影響很大。
 3、調(diào)節(jié)閥口徑不能過大。選擇的閥門口徑過大，不僅增加工程成本，并且會(huì)引起閥門經(jīng)常運(yùn)行在低百分比范圍內(nèi)。從而會(huì)引起調(diào)節(jié)精度降低，使控制性能變差，且易使系統(tǒng)受沖擊和振蕩。
 4、為了保證系統(tǒng)控制品質(zhì)，較為理想的方法是在系統(tǒng)允許的范圍內(nèi)選擇能獲得較大壓力降的閥門口徑，使閥門在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中壓力降的變化值盡可能小。閥門全開狀態(tài)下的壓力降占全泵壓百分比越高，則閥門壓力降相對(duì)變化值越小，閥門的安裝特性就越接近其內(nèi)在特性。
 5、控制系統(tǒng)中調(diào)節(jié)閥應(yīng)盡可能工作于恒定的壓力降條件下。因?yàn)殚y門是否匹配盤管依賴于它的內(nèi)在特性和流量因子，而這些閥門參數(shù)取決于恒定的閥門壓力降。