光學光束誘導電流成像檢測系統(tǒng)（LBIC）是一種逐點非直接接觸的掃描成象，即通過激光波長在半導體中的吸收距離和微區(qū)光電轉(zhuǎn)換，可以表征太陽能電池微區(qū)的短路電流、表層缺陷（尺度大于0.5mm）、并聯(lián)電阻（加配Keithley電源表）、反射率、量子效率等特性參數(shù)，并通過橫向掃描（Mapping），形成這些參數(shù)的平面分布圖像，以反映其平面均勻性，尤其是晶界和位錯分布，為太陽能電池的結(jié)構(gòu)優(yōu)化和工藝改進提供參考依據(jù)。可以廣泛應(yīng)用到單晶硅、多晶硅、非晶硅（a-Si）、碲化鎘（CdTe）、銅銦鎵硒（CIGS）、有機半導體、染料敏化等各種傳統(tǒng)和新型材料的太陽能電池研究，可以廣泛應(yīng)用到GaAs、InP、GaN基陣列器件的研究?？朔舜竺娣e光照下I-V測試與單點光譜測試的不對應(yīng)性和不準確性，并通過不同激光波長對電池進行表征，大大提高了電池及光電子器件的診斷精度。本設(shè)備物理過程清晰，可以應(yīng)用于大學科研和實驗教學中，也可以應(yīng)用于企業(yè)的研發(fā)過程。
光學光束誘導電流成像檢測系統(tǒng)（LBIC）技術(shù)參數(shù)：
--樣品尺寸：Max 200200 mm2，Min 1 1 mm2
--激光波長：532和980nm（可根據(jù)材料的光吸收系數(shù)而自行選配）
--激光光斑：50 mm、100mm
-- 測試電流范圍：1mA–1mA
--測試模式：LBIC mapping，LBIV mapping，Resistance mapping
-- 掃描步長：0.1、0.2、0.5、1、2、4mm（可根據(jù)實際需要自定義）
-- 掃描速度：15points/s
-- 可進行單點或連續(xù)掃描（mapping）測試
功能
1）特定波長下短路電流逐點掃描成像（LBIC-Mapping），觀察逐點短路電流的均勻性、觀察表層缺陷（表層厚度隨波長吸收長度而定）
2）電壓逐點掃描成像（LBIV-Mapping），觀察電流的橫向擴展狀況及表層電阻的均勻性。
3）并聯(lián)電阻逐點成像，觀察電池、特別是電池邊緣電隔離狀況，反映電隔離工藝的水平。
4）反射率逐點掃描成像，觀察鈍化膜的減反特性以及晶粒取向?qū)p反的影響。
適用范圍：
本設(shè)備可以應(yīng)用到單晶硅、多晶硅等傳統(tǒng)材料的太陽電池，更可以應(yīng)用到非晶硅（a-Si）、碲化鎘（CdTe）、銅銦鎵硒（CIGS）、有機、染料敏化、微納顆粒等新型材料的太陽能電池的研究過程中，找出研究中所存在的問題。
