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鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220

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伯東企業(yè)（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220

詳細(xì)介紹

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
上海伯東德國普發(fā) Pfeiffer 真空鍍膜工藝監(jiān)測器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專門開發(fā)的鍍膜工藝監(jiān)測器離子源, 在高達(dá) 10-2 hPa 的壓力下, 實(shí)現(xiàn)了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時(shí)提供一個(gè)帶有壓差孔板法蘭的型號(hào)供選擇, 可以實(shí)現(xiàn)在高達(dá) 10 hPa 的壓力范圍里進(jìn)行直接的工藝氣體分析.

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優(yōu)勢(shì)
用于瞬時(shí)過程監(jiān)測的鍍膜工藝監(jiān)測器離子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的優(yōu)秀檢測限
對(duì)測量結(jié)果的最小化背景影響
提供壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差型號(hào)
多重操作允許帶單個(gè) PC 的多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評(píng)估
靈活集成的緊湊尺寸
通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出, 使系統(tǒng)集成方便而靈活

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應(yīng)用
半導(dǎo)體生產(chǎn),玻璃鍍膜, 薄膜太陽能電池發(fā)電,研發(fā)

鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 組成：渦輪分子泵+四級(jí)桿質(zhì)譜+離子源
Pfeiffer 普發(fā)鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220

鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 優(yōu)勢(shì)：
鍍膜工藝監(jiān)測器離子源，適用于瞬時(shí)過程監(jiān)測
對(duì)氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優(yōu)秀檢測極限
對(duì)測量結(jié)果的最小化背景影響
壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個(gè) PC 的多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評(píng)估
緊湊設(shè)計(jì)，易于系統(tǒng)集成
通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出
Pfeiffer監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 技術(shù)參數(shù)：

SPM 系統(tǒng)控制

BRU 220

電壓

115-230 V

前級(jí)泵

MVP 020-3

四極控制

QME 220

帶 SPM 離子源的分析儀

QMA 220

探測器

C-SEM/Faraday

桿系統(tǒng)：材料

不銹鋼

桿系統(tǒng)：直徑

6 mm

桿系統(tǒng)：長度

100 mm

檢測極限（氬中）：二氧化碳

< 100 ppb

檢測極限（氬中）：氧氣

< 100 ppb

檢測極限（氬中）：氮

< 100 ppb

檢測極限（氬中）：水

< 3000 ppb

檢測極限（氬中）：水蒸氣

< 500 ppb or < 6000 ppb

渦輪分子泵

帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80

質(zhì)量數(shù)

1-100 amu or 1-200 amu

過程壓力至

1 hPa or 10 hPa or 8hPa

連接法蘭（入口）

DN 40 CF-F

重量

13 kg

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論，請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東：葉女士中國臺(tái)灣伯東：王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
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關(guān)鍵詞：氣體分析儀質(zhì)譜儀電池