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1200度CVD設備

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產(chǎn)品型號KJ-T1200-S440

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地鄭州市

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聯(lián)系方式：王倩查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-05-12 11:08:38瀏覽次數(shù)：37次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  化學氣相沉積系統(tǒng)(CVD)

石墨烯、納米管生長爐

高真空CVD系統(tǒng)

等離子增強CVD系統(tǒng)(PECVD)

低真空CVD系統(tǒng)

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鄭州科佳電爐有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

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所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：王倩（銷售）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：KJ-T1200CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：
KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)。它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴散。

技術參數(shù)：

產(chǎn)品名稱		1200度CVD設備
型號		KJ-T1200
部分：標準件
Tube Furnace	顯示	7”液晶觸摸屏
	溫度	1200℃
	工作溫度	≤1100℃
	升溫速率	0~10℃/min
	溫區(qū)長度	440mm
	加熱元件	鉬電阻絲
	熱電偶	K型
	溫度控制精度	±1℃
	爐管	100 x 1000mm (OD x minimum L)
	爐管	材質(zhì)：石英管
	溫度控制	通過可控硅功率控制進行PID自動控制
	加熱曲線	30 步可編程
	真空法蘭	不銹鋼真空法蘭。法蘭的一端有 1 個帶刺針閥，安裝有機械壓力表。法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口
	功率	220V, 50 Hz, 單相. 4KW
真空泵	旋片真空泵	極限真空 10-3 托。管內(nèi)的真空度約為 10-1 Torr。（RM溫度和空管條件）流量：2L/S 旋片真空泵將被設計成帶輪子的推車。帶連接附件包括數(shù)字真空計
質(zhì)量流量計帶液晶觸摸屏控制器	一個浮子流量計+五個精密質(zhì)量流量計： MFC 精度為：±1.5% F.S. MFC 1 用于氮氣：氣體流量范圍為 0~100 sccm 氫氣用 MFC 2：氣體流量范圍 0~200 sccm MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm 氬氣用 MFC 4：氣體流量范圍 0~400 sccm 氧氣用 MFC 5：氣體流量范圍 0~500 sccm 一個氣體混合罐（僅適用于5 MFC）安裝在底殼上，4個不銹鋼針閥安裝在底殼左側，用于手動控制4種氣體混合。

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