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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


1200度CVD設備

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號KJ-T1200-S440

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

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更新時間:2025-05-12 11:08:38瀏覽次數(shù):37次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:KJ-T1200CVD是一種管式爐,配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)

詳細介紹

產(chǎn)品介紹:
    KJ-T1200 CVD是一種管式爐,配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)。 它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴散。
 
技術參數(shù):

 
 
產(chǎn)品名稱
1200度CVD設備
型號 KJ-T1200
部分:標準件
 
 
 
 
 
 
 
Tube Furnace
 
 
顯示 7”液晶觸摸屏
溫度 1200℃ 
工作溫度 ≤1100℃
升溫速率  0~10℃/min 
溫區(qū)長度 440mm
加熱元件 鉬電阻絲
熱電偶 K型
溫度控制精度 ±1℃
爐管 100 x 1000mm (OD x minimum L)
 材質(zhì):石英管
 
溫度控制 通過可控硅功率控制進行PID自動控制
加熱曲線 30 步可編程
真空法蘭 不銹鋼真空法蘭。
法蘭的一端有 1 個帶刺針閥,安裝有機械壓力表。
 
法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口
 
功率 220V, 50 Hz, 單相. 4KW
真空泵  旋片真空泵 極限真空 10-3 托。
管內(nèi)的真空度約為 10-1 Torr。
(RM溫度和空管條件)
流量:2L/S
旋片真空泵將被設計成帶輪子的推車。 帶連接附件
包括數(shù)字真空計
質(zhì)量流量計
帶液晶觸摸屏控制器
 
一個浮子流量計+五個精密質(zhì)量流量計:
MFC 精度為:±1.5% F.S.
MFC 1 用于氮氣:氣體流量范圍為 0~100 sccm
氫氣用 MFC 2:氣體流量范圍 0~200 sccm
MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm
氬氣用 MFC 4:氣體流量范圍 0~400 sccm
氧氣用 MFC 5:氣體流量范圍 0~500 sccm
 
一個氣體混合罐(僅適用于5 MFC)安裝在底殼上,4個不銹鋼針閥安裝在底殼左側,用于手動控制4種氣體混合。

 

 

 

 

 

 1、我公司對所供設備提供質(zhì)保一年保修服務(易損件除外),在保修期內(nèi)因設備質(zhì)量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 


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