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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


混氣PECVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號KJ-T1200 PECVD

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式:王倩查看聯(lián)系方式

更新時間:2025-05-12 11:40:09瀏覽次數(shù):52次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述:KJ-T1200PECVD是一種PECVD(等離子體增強化學(xué)氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成

詳細介紹

產(chǎn)品描述:
    KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學(xué)氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質(zhì)量流量計氣體流動系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。
 
產(chǎn)品參數(shù):
 

型號 KJ-T1200 PECVD
部分:標準件
等離子射頻電源
 
輸出功率 5 -500W可調(diào),均勻性 ± 1%
RF頻率 13.56 MHz ±0.005%
反射功率 200W
射頻輸出端口 50 Ω,N型
噪音 <50 dB.
冷卻 空氣冷卻
管式爐部分
 
顯示 LED
形式 分體式和上部可打開
連續(xù)工作溫度 ≤1100℃
升溫速率 建議:0~10℃/min(20℃/min)
溫區(qū)長度 500mm
加熱元件 含鉬電阻絲
熱電偶 K型
溫度均勻性 ±1℃
爐管尺寸 200m外徑 X 長度1600mm
材質(zhì):石英管 
溫度控制 通SCR功率控制進行 PID 自動控制
加熱曲線 30步可編程
法蘭 不銹鋼帶閥真空法蘭 
電壓 380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵
 
旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵將設(shè)計成帶輪的推車。
質(zhì)量流量計 三款精密質(zhì)量流量計:
MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm
(或根據(jù)您的要求)
底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側(cè)安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合
 
數(shù)字真空計 皮拉尼數(shù)字真空計 
 
 

 
 
 
 
 
 
 

 

 

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 


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