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更新時間:2024-08-30 08:21:51瀏覽次數(shù):223次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線矩形超高真空插板閥為氣動驅(qū)動方式,外形上美觀,并具有動作平穩(wěn)、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點,是半導體行業(yè)中真空設備自動化閥門之一。
一、矩形超高真空插板閥概述 此系列閥門為氣動驅(qū)動方式,在結(jié)構上設計合理,外形上美觀,并具有動作平穩(wěn)、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點,是半導體行業(yè)中真空設備自動化閥門之一。閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力,通過傳動桿推(拉)動連桿機構,帶著驅(qū)動體沿軸向運動,驅(qū)動體通過擺桿與閥板連接并帶動閥板開啟及關閉動作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。 二、矩形超高真空插板閥特點 采用多擺桿均勻分布支撐結(jié)構,閥板受力均勻,閥門開啟沖擊振動小,噪聲低; 四滾輪支撐運動機構,動作平穩(wěn),運動噪聲小; 動密封采用波紋管密封,其它密封件為氟橡膠,密封可靠; 閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接,漏率??; 在更小的體積上,一次性通過更多的工件,合理使用了空間。
三、矩形超高真空插板閥參數(shù)
類型: 插(閘)板閥
驅(qū)動方式: 氣動
閥體材料: 不銹鋼
適用真空: 高真空
適用范圍::1×10-6Pa~1.2×105Pa
打開時插板上的壓差:≤2×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率:<>
保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):10,0000次
閥體烘烤溫度:≤150℃
安裝位置:驅(qū)動體水平或垂直
電源:交流220V 50Hz 6W或直流 24V 3W(特殊規(guī)格可定做)
壓縮空氣:0.5~0.7MPa
閥門開啟或關閉時間:根據(jù)公稱通徑而定
閥門位置指示:帶有啟閉位置指示開關(磁性開關)
閥門重量:以不同公稱通徑而定
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