三靶射頻磁控濺射鍍膜儀配有磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對(duì)于新型非導(dǎo)電薄膜的探索，它是一款廉價(jià)并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。

三靶射頻磁控濺射鍍膜儀

·標(biāo)配的石英腔體（也可選配金屬腔體）方便觀察（圖1）

·相比傳統(tǒng)濺射儀，體積小巧，拆裝方便（圖2）

·模塊化設(shè)計(jì)，靶頭，電源等多種可選，自由DIY（圖3）

·基臺(tái)可旋轉(zhuǎn)可加熱

·可濺射金屬和氧化物。實(shí)驗(yàn)室已初步制備了 氧化鋅、碲化鉍、ITO、ATO、AU、Ag、Cu、Al、Mg、Sc等薄膜。

1、輸入電源：220V AC50/60Hz

2、設(shè)備功率：<1500W

3、靶臺(tái)加熱溫度：500℃

4、樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速：0-10r/min

5、靶頭可調(diào)傾角：0-25度

6、濺射腔體尺寸：278mm OD x 272mm ID x310mm H。 

7、靶材尺寸要求：1英寸磁控濺射靶頭Φ25.4mm ×（0.1-3）mm(厚度）

           2英寸磁控濺射靶頭Φ50mm ×（0.1-3）mm(厚度)

8、zui高使用功率：1英寸磁控濺射靶頭100W

           2英寸磁控濺射靶頭300W

?合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年，是美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院興辦的*。 公司目前主要從事氧化物晶體（A-Z）系列材料研發(fā)生產(chǎn)、濺射靶材制備和材料實(shí)驗(yàn)室及電池研發(fā)全套設(shè)備。公司從成立之初研發(fā)高溫超導(dǎo)薄膜基片大尺寸LaAlO3單晶做起，目前MgAlO4、NdGaO3、LSAT、3英寸LaAlO3等晶體是世界供應(yīng)商。設(shè)備研發(fā)的各種高溫爐，大尺寸高溫高壓爐，熱等靜壓爐，單晶生長爐等，用于石墨烯、高通量、蒸發(fā)鍍膜、高溫超導(dǎo)薄膜、超導(dǎo)塊材和線材的制備設(shè)備，涉及新能源材料，電池制備等成套設(shè)備，并為科研工作者提供材料研究解決方案，已經(jīng)成為企業(yè)。