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193nm激光器 準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)

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更新時間:2021-02-23 19:23:00瀏覽次數(shù):587

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產(chǎn)品簡介

193nm激光器 準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):全部實(shí)現(xiàn)風(fēng)冷,無需水冷;結(jié)構(gòu)緊湊,脈沖頻率高,Z高重復(fù)頻率到1kHz;全新技術(shù)金屬-陶瓷腔體;光束均勻性好集成的真空泵和鹵素濾光片激光頭體積3L提供能量穩(wěn)定模式,保證能量穩(wěn)定輸出;

詳細(xì)介紹

193nm激光器 準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)

193nm激光器 準(zhǔn)分子加工系統(tǒng)產(chǎn)品外觀圖

典型的均勻光斑形貌

微加工系統(tǒng)

產(chǎn)品特點(diǎn)

全部實(shí)現(xiàn)風(fēng)冷,無需水冷;

結(jié)構(gòu)緊湊,脈沖頻率高,zui高重復(fù)頻率到1kHz;

全新技術(shù)金屬-陶瓷腔體;

光束均勻性好

集成的真空泵和鹵素濾光片

激光頭體積<3L

提供能量穩(wěn)定模式,保證能量穩(wěn)定輸出;

應(yīng)用:

微加工

激光融蝕

醫(yī)學(xué)(眼睛手術(shù))

光譜

計量

光纖布拉格光柵刻寫

參數(shù)

ATLEX-300-I 參數(shù)

ATLEX-300-I 參數(shù)

氣體介質(zhì)

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

單位

波長

157

193

248

308

351

nm

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

zui大脈沖能量1

1

10

15

8

7

mJ

zui大平均功率

0.2

2.4

4.0

2.0

1.7

W

zui大重復(fù)頻率

300

Hz

脈寬2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束發(fā)散角(V*H)

1*2

mrad

能量穩(wěn)定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風(fēng)冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

  • 在低重復(fù)頻率下測量,應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
  • 典型值,半高全寬(FWHM)

ATLEX-500-I 參數(shù)

ATLEX-500-I 參數(shù)

氣體介質(zhì)

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

單位

波長

157

193

248

308

351

nm

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

zui大脈沖能量1

1

10

15

8

7

mJ

zui大平均功率

0.5

4.0

6.5

3.0

2.5

W

zui大重復(fù)頻率

500

Hz

脈寬2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束發(fā)散角(V*H)

1*2

mrad

能量穩(wěn)定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風(fēng)冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

  • 在低重復(fù)頻率下測量,應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
  • 典型值,半高全寬(FWHM)

ATLEX-1000-I 參數(shù)

ATLEX-1000-I 參數(shù)

氣體介質(zhì)

ArF

KrF

單位

波長

193

248

nm

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

zui大脈沖能量1

10

15

mJ

zui大平均功率

4.0

6.5

W

zui大重復(fù)頻率

1000

Hz

脈寬2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束發(fā)散角(V*H)

1*2

mrad

能量穩(wěn)定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風(fēng)冷

供電要求

230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz

  • 在低重復(fù)頻率下測量,應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
  • 典型值,半高全寬(FWHM)

ATLEX-300-FBG 參數(shù)

ATLEX-300-FBG 參數(shù)

氣體介質(zhì)

ArF

KrF

單位

波長

193

248

nm

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

zui大脈沖能量1

10

15

mJ

zui大平均功率

2.4

4.0

W

空間相關(guān)性(垂直方向)

>300

>300

um

zui大重復(fù)頻率

300

Hz

脈寬2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束發(fā)散角(V*H)

1*2

mrad

能量穩(wěn)定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風(fēng)冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

  • 在低重復(fù)頻率下測量,應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
  • 典型值,半高全寬(FWHM)

ATLEX-500-FBG 參數(shù)

ATLEX-500-FBG 參數(shù)

氣體介質(zhì)

ArF

KrF

單位

波長

193

248

nm

高壓開關(guān)技術(shù)

固態(tài)開關(guān)

zui大脈沖能量1

10

15

mJ

zui大平均功率

4.0

6.5

W

空間相關(guān)性(垂直方向)

>300

>300

um

zui大重復(fù)頻率

500

Hz

脈寬2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束發(fā)散角(V*H)

1*2

mrad

能量穩(wěn)定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風(fēng)冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

  • 在低重復(fù)頻率下測量,應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
  • 典型值,半高全寬(FWHM)

ATLEX-LR 參數(shù)

ATLEX-LR 參數(shù)

氣體介質(zhì)

ArF

單位

波長

193

nm

zui大脈沖能量1

12

mJ

zui大穩(wěn)定輸出能量

10

mJ

脈寬2

5

Ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束發(fā)散角(V*H)

1*2

mrad

能量穩(wěn)定性

<2

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

風(fēng)冷

供電要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

  • 在低重復(fù)頻率下測量,應(yīng)用能量穩(wěn)定模式降會有10%的輸出能量損失
  • 典型值,半高全寬(FWHM)


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