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半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)供水管網(wǎng)設(shè)計特點

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更新時間:2022-05-23 12:10:57瀏覽次數(shù):247次

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半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)供水管網(wǎng)設(shè)計特點
  半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備從設(shè)計安裝到應(yīng)用,都是一套完成的體系,得到了廣大客戶的認可,滿足了行業(yè)的用水需求。
  半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)供水管網(wǎng)設(shè)計特點
  一個完整的超純水設(shè)備系統(tǒng)的設(shè)計除了生產(chǎn)流程外,供水管網(wǎng)的設(shè)計也。管網(wǎng)的設(shè)計既要滿足工藝使用點的流量和壓力要求,更要保證生產(chǎn)出的超純水在經(jīng)過管網(wǎng)的分配輸送后品質(zhì)不受污染。
  1、選用HP—PVDF(高純度聚偏二氟乙烯)的管材和閥門管件,采用紅外線熱融連接,盡可能避免管道材料中的雜質(zhì)溶出污染水質(zhì)。
  2、供水主管路流速控制在1.2~2.4m/s,回水主管路流速控制在~1m/s,減少超純水在循環(huán)管網(wǎng)內(nèi)的停留時間,抑制有機物和細菌數(shù)的升高。

  3、避免出現(xiàn)流體死角滋生細菌??赡墚a(chǎn)生流體死角的長度不得超過后段管道直徑的1.5倍。設(shè)計中選用隔膜閥既便于調(diào)節(jié)流量,又可避免出現(xiàn)流體死角;選用異徑三通代替等徑三通加異徑管也是一項有效措施。
  4、在每一路支管的根部設(shè)計殺菌消毒接口和排放口,可以在某一路支管受到污染時及時處理,避免影響整個管網(wǎng)。殺菌消毒可選用臭氧或雙氧水。早期設(shè)計的管網(wǎng)一般為一供一回形式,在實際操作運行過程中發(fā)現(xiàn)供水的流量和壓力較難調(diào)節(jié),容易出現(xiàn)管網(wǎng)近端大量用水時遠端工藝使用點的流量和壓力難以保證的情況。在本設(shè)計中采用壓力回水的方式可有效防止上述情形的發(fā)生。



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