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更新時(shí)間：2022-09-15 18:33:28瀏覽次數(shù)：177次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品簡(jiǎn)介ADT8230是一款高效率、高精度、高性能、低使用成本的雙軸(對(duì)向)全自動(dòng)晶圓切割機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
ADT 8230是一款高效率、高精度、高性能、低使用成本的雙軸(對(duì)向)全自動(dòng)晶圓切割機(jī)。切割工件尺寸可達(dá)12英寸。
特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
?靈活性-支持3英寸刀片。
?支持1.8KW或2.2KW大功率主軸(適用于更高要求的切割)
?使用17英寸觸摸顯示屏，操作界面直觀
的應(yīng)用
?硅材料晶圓/分立器件
?碳化硅晶片
?MEMS產(chǎn)品
?MEMS產(chǎn)品
?玻璃材質(zhì)晶圓
?封裝(QFN,LED...)
操作便利性
ADT 8230系統(tǒng)使用開發(fā)的圖形用戶界面(GUI), 17英寸觸摸顯示屏具有更好的靈活性和視覺效果。
其它重要特征
?切割效率高-大幅降低使用成本
?空氣主軸
?高精度的自動(dòng)刀痕檢測(cè)及切割質(zhì)量分析
?切割過程數(shù)據(jù)記錄和統(tǒng)計(jì)分析
?更換刀片時(shí)鎖定主軸，操作更快速、簡(jiǎn)便
?SECS/GEM通信標(biāo)準(zhǔn)
?機(jī)器維護(hù)時(shí)可觸及系統(tǒng)的任何區(qū)域，帶來維護(hù)的便利性
參數(shù)技術(shù)
?工作盤尺寸：外徑300mm
?X軸
切割范圍：310mm
進(jìn)刀速度輸入范圍：0.1 - 600 mm/s
?Y1 / Y2軸
切割范圍：310mm
單步步進(jìn)量：0.0001 mm
定位精度：Within 0.002 / 310 mm；(Single step accuracy) within 0.002 / 5 mm
?Z軸
行程：30 mm（對(duì)應(yīng)2英寸刀片）
移動(dòng)分辨率：0.0001 mm
重復(fù)精度：0.001 mm
?θ軸
旋轉(zhuǎn)角度：380 deg
?主軸
主軸類型：對(duì)向式雙主軸
額定扭矩：0.33 N.m（1.8 KW）
回轉(zhuǎn)速：6,000 - 60,000 min-1（1.8 KW）
?刀片尺寸：2"
?清洗臺(tái)
旋轉(zhuǎn)速度：100 - 2,000 rpm
清洗方式：二流體清洗功能
?動(dòng)力規(guī)格
電氣：380V AC, 50 / 60 Hz, 三相電
空氣：500 L/min （@ 5.5 bar）
主軸冷卻水流量：1.5 L/min
切割水流量：值：3 L/min
?尺寸：1,220 mm × 1,550 mm ×1,850 mm
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