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PECVD就是化學氣相沉積法,是一種化工技術,該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法
PECVD就是化學氣相沉積法,是一種化工技術,該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。在淀積時,反應氣體的多少會影響淀積的速率及其均勻性,用于PECVD系統中,控制均布氣體流量,去除過濾氣體流路中的雜質。316L不銹鋼材質,精心選材,高強度高硬度,耐高壓,產品耐腐蝕,不生銹,高精度,過濾效率高,可反復清洗后使用。
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