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晶體生長爐

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產品型號藍寶石晶體生長設備

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廠商性質其他

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聯(lián)系方式：王經理查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-11-08 14:45:32瀏覽次數(shù)：409次

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東莞燕園半導體科技有限公司

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產品簡介

簡單介紹晶體生長爐、晶體生長爐

詳細介紹

在傳統(tǒng)的直拉法生產單晶材料時，生產設備存在自動化程度低，投料量少、設備功能單元布局不合理等一系列問題，從而導致單晶生產中人工勞動強度大、單位產能與品質低，成本高等一系列問題。隨著社會的進步，市場對新一代單晶生產設備轉向自動化程度高、投料量大、單位時間產能高、能耗低等方面。針對這些需求，爐壓自動控制技術、CCD非接觸測量技術、爐體恒溫控制技術的發(fā)展的進一步要求也是自動化；大爐體，高副室，旋板閥，水冷屏等的技術改進，是提高投料量與產能的必要方式。當投料量與產能達到一定程度時，副室的高度會進一步增加，因此坩堝托盤與提拉頭的動平衡問題會日漸突出，如何保證兩大低頻非規(guī)則運動部件的動平衡將會是一大挑戰(zhàn)。

NVT-HG型單晶爐可實現(xiàn)生長過程的全自動控制，爐壓全自動控制，采用CCD測量技術，此外還以其大裝爐量、高生產效率、低能量消耗，為客戶帶來額外利益。

應用領域

? 直拉法晶體提純

? 直拉法多晶生長

? 直拉法單晶生長

? 目前主要用于單晶硅棒的生產制造

適用工藝

爐壓自動控制、CCD非接觸測量、自動旋板閥、下排氣流線型管路等

產品優(yōu)勢