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行業(yè)產(chǎn)品

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霍茲儀器技術(shù)（上海）有限公司


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硅片熱臺(tái) RT400XRD

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

聯(lián)系方式：曹經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-02-06 08:28:03瀏覽次數(shù)：306次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：4條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：曹經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

硅片熱臺(tái) RT400XRD

詳細(xì)介紹

溫度范圍：室溫～400℃

加熱平臺(tái)：φ200mm

平面射角：-40°≤α≤40°，射線垂面射角：-2°≤β≤70°

升溫速率<5℃/min

主測(cè)溫：熱電偶，紅外測(cè)溫（輔助）

溫度顯示/控制精度：0.1℃/0.5℃

實(shí)驗(yàn)環(huán)境：腔體密閉，可充氣氛

冷卻方式：循環(huán)水冷

溫度控制：調(diào)節(jié)器精度0.2級(jí)，PID人工智能控制，50段程序

溫控軟件：中英文界面切換，實(shí)時(shí)操控，多點(diǎn)溫度校正、可設(shè)置溫速、控溫區(qū)間等，工藝曲線顯示與記錄

運(yùn)動(dòng)控制儀：一軸熱臺(tái)水平移動(dòng)，一軸熱臺(tái)旋轉(zhuǎn)，一軸紅外測(cè)溫移動(dòng)。手動(dòng)或軟件操控。


關(guān)鍵詞：熱電偶
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