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沈陽麥科諾科技有限公司
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更新時間：2023-05-26 18:07:41瀏覽次數(shù)：619次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線PET卷繞磁控濺射鍍膜機
設(shè)備采用*的磁控濺射鍍膜技術(shù)，配備直流+射頻磁控濺射系統(tǒng)，用于在PET等柔性薄膜上鍍制功能性薄膜。
一、 系統(tǒng)設(shè)計簡介
1. 系統(tǒng)真空指標：
1.1 濺射室極限真空度：≤1.4x10-4Pa(經(jīng)烘烤除氣后)；
1.2 系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；
1.3 系統(tǒng)從大氣開始抽氣：濺射室40分鐘可達到6.6x10-4 Pa；
1.4 系統(tǒng)停泵關(guān)機12小時后真空度：≤10Pa；
2. 真空室設(shè)計：
真空室為D形前開門結(jié)構(gòu)，約為尺寸Ф600mmx400mm，全不銹鋼結(jié)構(gòu)?？赏夂婵镜?00～150℃，選用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進行電化學(xué)拋光家鈍化處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封；手動前開門結(jié)構(gòu)；
3. 磁控靶系統(tǒng)
3.1 柱狀靶材尺寸：Ф70mm×180mm 2套；
3.2 平面靶尺寸：180mm×75mm 1套；
3.3 提供靶材：不銹鋼測試靶材3塊
3.4 靶在下，向上濺射，分布在一個圓周上，各靶可獨立/順次/共同工作；
3.5 3kw直流電源2臺（數(shù)字式電源 ）；
3.6 500w自動調(diào)諧射頻電源1臺；
3.7 磁控靶與基片的距離為：70mm。
4. 卷繞機構(gòu)：
4.1、PET材料卷經(jīng)：Φ150mm，寬幅：150mm
4.2、卷繞機構(gòu)使用張力傳感器、伺服電機、離合器、磁流體、減速器等；
4.3、鍍膜水冷轉(zhuǎn)輪一臺，直徑約為250mm；
4.4、基體材料的復(fù)卷裝置配備了全閉環(huán)數(shù)字式直接張力檢測及伺服系統(tǒng)配合的卷繞控制系統(tǒng)。自動張力控制器通過采自張力傳感器的張力信號實現(xiàn)鍍膜過程中基體材料收、放卷卷繞的恒張力自動控制；鍍膜輥采用伺服電機驅(qū)動。
4.5、卷繞和驅(qū)動系統(tǒng)與真空室門連體安裝在一個由電機驅(qū)動的行走車上，隨門一起開合?；木砝@系統(tǒng)由放卷裝置、鍍膜主輥、收卷裝置、過渡導(dǎo)輥、張力輥、測速輥等組成，以及安裝這些輥系的前后墻板等部件組成。系統(tǒng)采用伺服電機控制驅(qū)動基體材料的收、放卷轉(zhuǎn)軸和鍍復(fù)主輥運轉(zhuǎn)，來控制基體材料放卷卷繞和收卷卷繞操作。
放卷裝置：包括1套放卷轉(zhuǎn)軸夾持裝置、伺服電機
鍍膜主輥：1個，包括1套多通路的冷卻主輥，表面拋光后鍍鉻，伺服電機
收卷裝置：包括1套收卷轉(zhuǎn)軸夾持裝置、伺服電機
收放卷軸：3寸卷芯用氣漲軸2根
卷繞導(dǎo)輥：導(dǎo)向輥經(jīng)過表面硬化及拋光處理
張力輥：2個，導(dǎo)向輥經(jīng)過表面硬化及拋光處理
測速輥；1個
基材卷繞系統(tǒng)安裝在移動小車之上，可沿著導(dǎo)軌運行，將其送入或退出真空工作室，以便于進行更換鍍件以及對裝置進行清潔處理。
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