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點(diǎn)照射通用 Awill-V
它是使用 UV 固化粘合劑粘合光學(xué)部件和微型部件的理想選擇。
它是一款輕巧緊湊的型號，配備通信功能，并以安裝在設(shè)備中為前提進(jìn)行設(shè)計(jì)。
照射頭可連接4CH，使用分支箱最多可點(diǎn)亮16個(gè)LED。
此外，通過更換端透鏡，可以有效地用紫外線照射必要的區(qū)域。
用于晶圓外圍器件曝光的EW01S
用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。
它可以很容易地安裝在新設(shè)備中，也可以用目前使用的紫外燈光源代替。
UV-LED的安裝通過降低功耗，減少環(huán)境影響，延長光源壽命以及消除對任何機(jī)械消耗件的需求，極大地降低了客戶的運(yùn)行成本。
晶圓邊緣曝光用（高輸出型）EW04S
用于 g 線和 i 線抗蝕劑兼容晶圓邊緣曝光的 UV-LED 光源。特的光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了 7,000 mw/cm2 或更高的高輸出。適用于加工時(shí)間長的厚膜抗蝕劑加工。此外，可以大大縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于增加處理的晶片數(shù)量
